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光电测试技术  成都信息工程学院 概述 历史进程： 特点： 具有更高的测试灵敏度和准确度； 绝大部分的干涉测试都是非接触式的，不会对被测件带来表面损伤和附加误差； 较大的量程范围； 在精密测量、精密加工和实时测控的诸多领域获得广泛应用。 分类： 另外还可以利用有关干涉图的接收和数据处理技术计算出点扩散函数、中心点亮度、光学传递函数等综合光学象质评价指标。 §5-1 激光干涉测试技术基础 1.1 干涉原理与干涉条件 1．干涉原理 光干涉的基础是光波的叠加原理。由波动光学知道，两束相干光波在空间某点相遇而产生的干涉条纹光强分布为： §5-1 激光干涉测试技术基础 1.1 干涉原理与干涉条件 2．干涉条件 通常能够产生干涉的两列光波必须满足三个基本相干条件： 频率相同 振动方向相同 恒定的位相差 §5-1 激光干涉测试技术基础 1.2 影响干涉条纹对比度的因素 干涉条纹对比度可定义为 §5-1 激光干涉测试技术基础 1.2 影响干涉条纹对比度的因素 ①光源的单色性与时间相干性 如图，干涉场中实际见到的条纹是λ到λ＋Δλ 中间所有波长的光干涉条纹叠加的结果。 当λ＋Δ λ 的第m级亮 纹与λ 的第m+1级亮纹重合后，所有亮纹开始重合，而在此之前则是彼此分开的。则尚能分辨干涉条纹的限度为 §5-1 激光干涉测试技术基础 1.2 影响干涉条纹对比度的因素 ②光源大小与空间相干性 干涉图样的照度，在很大程度上取决于光源的尺寸，而光源的尺寸大小又会对各类干涉图样对比度有不同的影响: 由平行平板产生的等倾干涉，无论多么宽的光源尺寸，其干涉图样都有很好的对比度。 杨氏干涉实验只在限制狭缝宽度的情况下，才能看清干涉图样。 由楔形板产生的等厚干涉图样，则是介于以上两种情况之间。 §5-1 激光干涉测试技术基础 1.2 影响干涉条纹对比度的因素 ③相干光束光强不等和杂散光的影响 设两支相干光的光强为I2=nI1，则有 §5-1 激光干涉测试技术基础 1.2 影响干涉条纹对比度的因素 ③相干光束光强不等和杂散光的影响 当n = 1时，有 §5-1 激光干涉测试技术基础 1.2 影响干涉条纹对比度的因素 小结： 对于所有类型的干涉仪，干涉条纹图样对比度降低的普遍原因是： 光源的时间相干性； 光源的空间相干性； 相干光束的光强不等； 杂散光的存在； 各光束的偏振状态差异； 振动、空气扰动、干涉仪结构的刚性不足等。 §5-1 激光干涉测试技术基础 1.3 共程干涉和非共程干涉 在普通干涉仪中，由于参考光束和测试光束沿着分开的光路行进，故这两束光受机械振动和温度起伏等外界条件的影响是不同的。因此，在干涉测量过程中，必须严格限定测量条件，采取适当的保护措施，否则干涉场上的干涉条纹是不稳定的，因而不能进行精确的测量。这类干涉仪，称为非共程干涉仪。 特点： ①抗环境干扰； ②在产生参考光束时，通常不需要尺 寸等于或大于被测光学系统通光口径 的光学标准件； ③在视场中心两支光束的光程差一般 为零，因此可以使用白光光源。 §5-1 激光干涉测试技术基础 1.4 干涉条纹的分析与波面恢复 在静态干涉系统中，干涉测量的关键是获得清晰稳定的干涉条纹图样，然后对其进行分析、处理和判读计算，以获得有关的被测量的信息。 ①波面偏差的表示 波面偏差为 §5-1 激光干涉测试技术基础 1.4 干涉条纹的分析与波面恢复 ②被测波面的恢复 要正确求出被测波面的轮廓，首先要判断干涉条纹图的零级条纹位置和被测波面相对于标准波面的凸凹情况。 1）零级条纹的判断。使产生干涉的两波面间的光程差减小，则条纹移动的方向是离开零级条纹的方向；反之，则干涉条纹朝着零级条纹的方向移动。 §5-1 激光干涉测试技术基础 1.4 干涉条纹的分析与波面恢复 3）求被测波面轮廓。 若采用图解法求旋转对称波面与倾斜平面波相干涉得到的干涉图样，只需求出通过干涉图中心与平面波倾斜方向相同的截面上的波面轮廓就可以了。其步骤如下 ： §5-1 激光干涉测试技术基础 1.5 提高分辨力的方法和干涉条纹的信号处理 ①光学倍频技术 分辨力 §5-1 激光干涉测试技术基础 1.5 提高分辨力的方法和干涉条纹的信号处理 ②光学相位细分技术 提高干涉仪分辨力，还可利用干涉条纹的相位细分技术。可以把干涉条纹每变化一个级次，看作相位变化了360°。从一个干涉条纹变化中得到多个计数脉冲的技术称为相位细分技术。 相位细分的方法有机械相位细分、阶梯板相位细分、翼形板相位细分、金属膜相位细分和分偏振法相位细分等。 §5-1 激光干涉测试技术基础 1.5 提高分辨力的方法和干涉条纹的信号处理 ③ 处理电路细分方法 电路细分方法有多种，如四细分辨向、计算