ESD教育训练讲义 .pptVIP

基本法則的落實 將工作區的所有導電物體接地，使其帶電不超 過50V。 以靜電壓表確認工作區內的非導電物體所帶電壓不超過300V。 對策：屏蔽、離子風扇…. 如果靜電場無法避免，應確保靜電敏感零組件與帶電之表面保持安全距離，遵守CD法則。 肆.ESD防制之設備儀器介紹與使用 表面阻抗測試器 靜電壓測試器 接地斷路警報系統 靜電環測試器 靜電環 表面阻抗測試器 功能:檢測工作表面靜電消散功能是否符合規範，以減少敏感元件受到ESD破壞 校驗頻率: 1次/年 操作步驟: 1. 將測試設備置於欲量測之位置 2. 施以適當之壓力 3. 按下綠色鈕 4. 進行表面阻抗檢測並記錄讀值 靜電壓測試器 功能:檢測環境工作區域之靜電壓值 是否低於敏感材料規範 校驗頻率: 1次/年 檢驗條件: 檢驗人員須接地 (例:配戴 靜電環或穿靜電鞋…) 操作步驟: 1.按下 “ LO ” 鍵開啟 2.檢查電池電力:按下 “ BATT “ 鍵螢幕顯示700 以上，表示電池電力足夠 3.對地歸零:偵測面對大地，按下 “ ZERO “ 鍵歸零 4.持續按下 “ ZERO “ 鍵，移至待測物距1英吋之距離(2.54公分)，進行靜電壓檢測並記錄讀值 5.若檢測讀值為 “ 1 ” 時，即判定檢測物為高靜電源 功能:自動偵測AC電源極性及接地系統有無異常 確保作業人員及儀器安全 接地斷路警報系統 接地斷路警報系統操作說明 原理: 利用AC電源之L,N,FG來作測試 1.用AC電源之L(較短之孔)及FG線來測試生產線上電源極性是否正確，用AC Polarity氖燈來顯示，會亮表示OK ，不亮表示NG。 2.用AC電源之FG線和生產線之地線來作測試是否斷路。用氖燈及蜂鳴器來表示，亮綠燈及蜂鳴器不響表示OK ，亮紅燈及蜂鳴器會響表示NG。 操作步驟: 1.將測試接地儀器之接地端電線接至生產線之地線。 2.插上AC電源，看接地儀器之AC氖燈是否會亮，會亮表示生產線之電源極性OK ， 不亮表示生產線之電源極性錯誤。 3.將接地儀器上之電源開關打開，觀察接地儀器上之氖燈及蜂鳴器，亮綠燈及蜂鳴器不響表示OK；亮紅燈及蜂鳴器會響表示NG。 校驗測試程序: 每日只要把接地儀器上接地測試端之電線拔離 生產線之地線，接地儀器上之氖燈會亮紅燈及蜂鳴 器會響則表示接地儀器通過測試；如測試時紅燈未 亮或蜂鳴器未響，請通知MES測試人員維修。 靜電環測試器 功能:檢測作業員所戴之靜電環功能是否正常(可接受的範圍750千歐姆至10百萬歐姆) 校驗頻率: 1次/年 操作步驟: 1.檢查測試器接地線是否確實接地 2.將靜電環依正常操作程序配戴 3.按下測試鈕 4. 靜電環測試器 自主檢測方式: 在不接地情況下，做自主檢測 此三項測試均 PASS，即測試器 “ OK “ 靜電環 功能：主要為防止HBM對於ESDS元件的破壞 型式：粘帶式、金屬、紡織品、鬆緊帶式 安全性：必須要有限流電阻(通常為1M ?,1/4W) 來保護人體安全，接地線與靜電環分離的拉力為1-5 lb. 伍.ESD防制基本作業規範 教育訓練及認證 各單位須有一固定之ESD負責人，並經過公司安排之教育訓練及認證，負責安排每日的測試工作與記錄，並作每月之自主檢查。 各單位視各自情況安排內部教育訓練並應附有檢定之記錄。 所有於靜電安全工作區域作業之人員，均需通過教育訓練及檢定。 ESD管制標誌及標籤 靜電安全工作站須以黃底黑字顯示靜電注意標 示(EIA-471)，除非該工作站位於靜電安全區域內。 標示置放於靜電安全工作站外，大小為距離1公尺處可清楚讀取標示上之字體。 所有放置ESD敏感元件之容器應於顯而易見的位置貼上ESD靜電防護標籤。 靜電安全工作站之作業指導書應附有ESD靜電防護標籤。 靜電安全工作區域中無法避免之絕緣材料(OI架、資料夾…)時，應使用靜電消散液覆蓋其表面，並定期檢測是否失效。 靜電安全工作區 未使用靜電消散液 電腦螢幕(陰極射線管)應予以接地屏蔽或使用離子風扇，平衡產生之電荷。 於靜電安全工作區外一公尺範圍內，所有物體之靜電壓須小於100V。 工作桌墊須確實接地並將每月 之檢測結果記錄於桌墊後。 導電地板區域內，台車須連結接地鏈(一般區域以接地線接地)，且台車各層桌墊須予以連結導通；裝載未完成品之台車須予以適當之防靜電遮蔽。 導電地板之導電銅箔確實銜接廠務接地線，並每月進行不定點檢測及記錄；每三個月作清洗及打導電蠟之保養維護(若月檢測未通過測試，即應進行維護工作) 。 所有人員進入靜電安全工作區作業，應佩戴靜電環並確實