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第九章 机械位移传感器 第一节 电容式位移传感器 第二节 电感式位移传感器 第三节 变压器式位移传感器 第四节 电涡流式位移传感器 第五节 电阻式位移传感器 第一节 电容式位移传感器 电容式位移传感器是根据被测物体的位移变化转换为电容器电容变化的一种传感器，一般用于高频振动微小位移的测量。 电容式位移传感器是把被测的位移转换成电容器电容的变化。它以各种类型的电容器作为转换元件，在大多数情况下，它是由两平行极板组成的以空气为介质的电容器，有时也有由两平行圆筒或其它形状平行面组成。因此，电容式传感器工作原理可用平行板电容器来说明，如图9-1所示。当不考虑边缘电场影响时，其电容量为： 式中： C——电容量，单位为F； ε——极板间介质的介电系数，单位为F · m-1； A——两平行极板相互覆盖的有效面积，单位为m2； δ——两平行极板之间的距离，单位为m。 第一节 电容式位移传感器 电容式位移传感器的结构形式，根据工作原理的不同，可分为变间隙式（δ变化）、变面积式（A变化）和变介电系数式（ε变化）三种，按极板形状不同，则有平板形和圆柱形两种。 图9-2中(a)~(b)是电容式位移传感器的结构原理图，其电容变化是由于活动电极的位移而引起的。其中图9-2(a)，(b)是线位移传感器，图9-2(c)，(d)是角位移传感器。图9-2(a)是变间隙式，图9-2(b)，(c)，(d)是变面积式。图9-2(i)~(1)是属于变介电系数式。图9-2(i)，(j)中电容变化是由于固体或液体介质在极板之间运动而引起的。图9-2(k)，(l)中电容变化主要是介质的温度、密度等发生变化而引起的。图9-2(e)~(h)是差动电容式传感器，它是由两个结构完全相同的电容式传感器构成的，它们共有一个活动电极，当活动电极处于起始中间位置时，两个传感器的电容相等，当活动电极偏离中间位置时，使一个电容增加，另一个电容减少。与单一式相比，差动式传感器灵敏度可以提高一倍，非线性得到改善，并且能补偿温度误差。 第一节 电容式位移传感器 变间隙式一般用来测量微小的线位移（可小至0.01μm~零点几mm），也可用于由力、位移、振动等引起的极板间距离变化。它灵敏度较高，易于实现非接触测量，因而应用较为普遍。变面积式则一般用来测量角位移或较大的线位移；变介电系数式常用于固体或液体的物位测量，也用于测定各种介质的温度、密度等状态参数。 图9-3所示为变面积型电容位移传感器的结构图。测杆1随着被测物体的位移而移动，它带动活动极板4上下移动，从而改变了活动极板与两个固定极板10，11之间的极板面积，使电容量发生变化，由于传感器采用了变面积差动形式，因而，线性度较好，图中的测力弹簧3，5保证测杆和活动极板能够很好地随被测物体移动，调节螺钉用来调节位移传感器的零点。 第一节 电容式位移传感器 图9-4为南京传感器厂生产的LVCT型电容式位移测量仪结构图，它可以把输入的线性位移转换成电量输出，其输出灵敏度为200mV/mm~1000mV/mm，测量范围达20mm，线性度为0.05~0.3，可用于压力、应变、液位等能转换成直线位移的各种机械物理量的测试。 在电容式位移传感器实际使用过程中，由于传感器本身电容很小，仅几十微法至几微法，因此相当容易受到外界寄生电容的干扰，若在传感器和放大电路之间采用电缆连接，电缆本身寄生电容可能比传感器工作电容要大许多，因而，当它与传感器电容相关联时，将严重影响传感器的输出特性，使电容相对变化率大大降低，甚至使传感器不能工作。要解决这个问题，一种方法是将测量线路装在紧靠传感器处，或者采用集成电路方法将全部测量电路装在传感器壳体内，对壳体和引出导线采取屏蔽措施。 第一节 电容式位移传感器 另外一种方法是采用“驱动电缆法”，如图9-5所示。图中传感器的输入引线采用双层屏蔽电缆，电缆引线将电容极板上的电压输送给测量电路的同时，又输送给一个增益比为1：1的放大器，放大器的输出端接到内屏蔽层上，由于内屏蔽和引线之间等电位，两者之间没有容性电流存在，这就等效地消除了引线和内屏蔽之间的电容联系。而外屏蔽接地后，对地之间的电容将成为1：1放大器的负载，不再与传感器电容相并联，这样，无论电缆形状和位置如何变化，都不会对传感器的工作产生影响。采用这种方法，即使传感器电容量很小，传输电缆长达数米时，传感器仍能很好地工作。 第二节 电感式位移传感器 一 结构类型 电感式位移传感器种类繁多，目前常用的有变气隙型、变面积型和螺管型三种，如图9-6所示。虽然形式不同，但都包含线圈、铁芯和活动衔铁三部分。 对变间隙型传感器，气隙的大小随被测量的改变而变化，使磁路中气隙的磁阻发生变化，从而引起线圈电感的变化。这种电感量的变化与气隙的大小（即