X射线光电子能谱分析颜旭.pptVIP

只做学术交流之用，请勿做商业用途，转载请说明出处！ X射线光电子能谱分析 X射线光电子能谱法(X-ray Photoelectron Spectrum)在表面分析领域中是一种崭新的方法。虽然用X射线照射固体材料并测量由此引起的电子动能的分布早在本世纪初就有报道，但当时可达到的分辩率还不足以观测到光电子能谱上的实际光峰。直到1958年，以Siegbahn为首的一个瑞典研究小组首次观测到光峰现象，并发现此方法可以用来研究元素的种类及其化学状态，故而取名“化学分析光电子能谱（Electron Spectroscopy for Chemical Analysis-ESCA）。目前XPS和ESCA已公认为是同义词而不再加以区别 . XPS的主要特点 (1)可以分析除H和He以外的所有元素，对所有元素的灵敏度具有相同的数量级． (2) 相邻元素的同种能级的谱线相隔较远，相互干扰较少，元素定性的标识性强． (3)能够观测化学位移。化学位移同原子氧化态、原子电荷和官能团有关。 化学位移信息是XPS用作结构分析和化学键研究的基础． (4)可作定量分析．既可测定元素的相对浓度，又可测定相同元素的不同氧化态的相对浓度。 (5)是一种高灵敏超微量表面分析技术。样品分析的深度约20A，信号来自表面几个原子层，样品量可少至10E-8g，绝对灵敏度高达10E-18g。 基本原