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XC 系列分子泵使用说明书 PAGE 1 6 - 6.安装 6.1 注意事项 分子泵不能用于抽除液体或者带有粉尘、固体颗粒的气体； 除了耐腐蚀型泵以外，其他任何分子泵不能用于抽除腐蚀性气体，耐腐蚀型泵在抽除腐蚀性气体时，必须给分子泵的保护气体入口连续通惰性保护气体如氮气等，且泵油使用我公司提供的专用耐腐蚀分子泵油。 确认分子泵与电源相配套。每种泵都只能使用本说明书中规定的与之匹配的电源供电，否则造成的损失，本公司概不负责。 确认安装环境必须满足如下条件： 泵体表面径向和轴向磁场强度均不得大于3mT(30Gs)； 环境放射性强度105rad； 环境温度为5~40 空气相对湿度：≤85%； 电压：220±22V，频率：50±1Hz； 海拔：≤3000米。 安装前应检查分子泵运输中是否被损坏：打开泵高真空端法兰盖板，戴好手套，拨动涡轮转子，应转动灵活，无异常现象。若存在异常现象，应及时通知我公司，不得自行处理，否则由此带来损失我公司概不负责。 不允许将分子泵长期置于大气状态下存放，在打开进气口和排气口盲板时，应注意真空卫生要求，严禁杂物、灰尘等落入泵内。 安装环境应符合技术要求和真空卫生要求。 6.2 连接安装 6.2.1真空联接 分子泵的进气口和排气口法兰采用国际标准见表4分子泵技术数据表,尺寸见分子泵安装简图和分子泵排气口简图。注意：法兰密封面不得有划痕、刀口不得磕碰。 泵的联接可利用进气口法兰吊装或将泵置于基座平面上，但F-400/4200不建议吊装，若一定要吊装必须用活套法兰（订货时单独订购）固定。 分子泵的进气口法兰通过金属波纹管与系统联接时，分子泵必须固定。 为保护分子泵转子，防止外界物质落入泵内，可在泵口装上防护网，但装入此网后，抽速约降低15％左右。 前级泵与分子泵的联接应采用具有减震效应的金属波纹管，管路上应装有隔断放气阀，作为停机时对前级机械泵放气。放气阀可选用手动阀或电磁阀。放气过程的操作请参照停机部分。为保护泵体真空卫生，防止潮湿，放气时，可通氮气或干燥空气。 注意！！ 分子泵吊装时，气体入口与真空腔体之间的连接管道不得长于200mm，否则可能产生焊缝拉裂、振动放大效应，对真空系统和分子泵产生危害； 法兰刀口不得磕碰划伤、密封面不得有径向划痕，否则会降低抽气效果。 6.2.2 冷却水连接 采用清洁低沉淀的自来水，也可采用冷却水系统。对于高沉淀或腐蚀性水建议采用循环水系统，以防水管堵塞或腐蚀。冷却水流量不应低于1升/分，冷却水入口压力为0.1～0.2MPa，温度不应高于25℃，温度较高时，应加大冷却水流量。水嘴所接的水管为φ10x1mm, 分子泵的工作环境温度为不大于 6.2.3 加入润滑油 该泵出厂时为了运输中的安全，已把润滑油卸去。 注意！！ 用户在初次使用分子泵时必须先加入润滑油。 操作过程如下： 用扳手将紧固油池的螺钉松开，取下油池。 从滤网外向油池中注入规定量的分子泵润滑油，即油面应处于油标上下限之间，不得低于油标下限，以保证轴承的良好润滑，油标为无色标志线。 将油池紧固到泵体上。安装时注意胶圈的位置和卫生，螺钉对称拧紧，否则容易漏气。 注意！！ 装油池时，要注意对称上紧，避免漏气。 分子泵润滑油采用不易裂变的低饱和蒸汽压的专用分子泵润滑油，不得用其他油品代替。润滑油应洁净，严禁污物、杂质和尘埃落入。必要时应对润滑油进行过滤。 注意！！ 禁止使用其它的代用润滑油，违规操作的任何后果，用户自行承担。 6.2.4 电缆联接 电源电缆插头与分子泵下部的电源插座联接。联接时注意对准槽口方向插入，然后利用螺纹拧紧到位，请不要过分用力，以防插针弯折。 7 运行 7.1 运行前注意事项 电源必须是分子泵配套电源； 各项安装都已严格完成； 检查各种连接无误。 7.2 分子泵启动 7.2.1 分子泵启动方式确定 分子泵启动方式是指分子泵与前级泵的启动顺序，可分为同时启动和定压力启动两种。 一般情况下，分子泵和前级泵可同时启动，以防前级泵油上返。如果真空系统容积过大,应先启动前级泵，在真空系统压强P达到200帕时，即启动分子泵。判定标准如下：被抽系统为V[m3],前级泵抽速为Sr[m3/h] 同时启动：Sr/V＞40[h-1] 定压力启动：Sr/V≤40[h-1] 定压力启动压力：P=e(Sr/6V)×100[Pa] 7.2.2 启动冷却水系统 开启冷却水系统，并检查出水质量、水压、流量、温度等参数以及管路连接是否有漏水现象，如不合格及时调整和处理。 7.2.3 启动分子泵 根据7.2.1确定启动方式后，启动前级泵，同时确认前级泵与真空系统无误后，按动分子泵