SJT 10479-94 自动砂轮划片机通用技术条件.pdf

SJ 中华人 民共和 国电子行业标准 SJ/T 10479一94 自动砂轮划片机通用技术条件 Generalspecification forautomaticwheelscribingmachine 1994-04-11发布 1994-10-01实施 中华人民共和国电子工业部 发布 中华 人 民共 和 国 电子 行 业 标 准 自动砂轮划片机通用技术条件 Si/T10479一94 Getteratspecifie时ion forautomaticwheelscribingmachine 主题 内容与适 用范 围 本标准规定了自动砂轮划片机(以下简称 “划片机”)的技术要求、试验方法、检验规则及标 志、包装、运输、贮存。 本标准适用于切割分离半导体硅片、石英、陶瓷等材料的划片机。 2 弓1用标准 GB191 包装储运图示标志 GB5080.7设备可靠性试验 恒定失效率假设下的失效率与平均无故障时间的验证试 验方 案 3 技术要求 3.1 使用条件 划片机在下列使用条件下应能正常工作: a.温度:22士41r;/ b. 相对湿度:40%一70%; c. 洁净度:100000级; d. 供电条件:220V士10%,50Hz士2%; e.供气条件:压缩空气压力0.6MPa; 真空压力66.6kPa; f.供水条件:去离子水压力0.2MPaa 3.2 主机精度 3.2.1X导轨与Y导轨的垂直度误差不大于0.025mma 3.2.2 空气静压电主轴端面与X导轨的平行度误差不大于0.0025mma 3.2.3 X,Y导轨与承片台的平行度误差在150mm测量范围内不大于0.01mm. 3.2.4 承片台或主轴升降定位误差不大于0.008mma 3.2.5 承片台旋转定位误差不大于9(0.00250)0 3.2.6 Y步进误差不大于0.005mm,累积误差在 100mm测量范围内不大于0.008mm 中华人民共和国电子工业部1994-04-11批准 1994-10-01实施 ST/T10479一94 3.2.7 空气静压电主轴安装砂轮刀处的精度: A. 径向圆跳动0.004mm; b.端面圆跳动0.002mm; c. 轴向窜动0.001mma 3.3 显示屏 一显示屏左右图像应分中，并应同样清晰(单目或双目显微镜))o 3.4 保护开关 各保护开关应工作可靠。 a. 当压缩空气压力小于或等于0.46MPa时，其保护开关应能立即自动关断，主轴停转; b. 当承片台吸片压力小于或等于 16.66kPa时，其保护开关应能立即关断，机器停止动 作; c. 当去离子水冷却液压力小于或等于0.07MPa时，其保护开关应能立即关断，机器停 止运行。 3.5 空载试验 划片机应进行空载试验。试验后检验主机精度、显示屏及各保护开关功能。 3.6 负载试验 划片机经空载试验后，方进行负载试验，检查划片质量。 3.7 安全要求 3.7.1 划片机应有接地措施并有接地标志。 3.7.2 在测试电压为500V时，电源输入端与机壳之间的绝缘电阻不小于2MSlo 3.7.3 电源输人端与机壳之间应能承受交流1500V耐压试验lmin，无击穿或飞弧现象。 3.8 结构 3.8.1 传动应灵活、平稳，动作应准确、协调。 3.8.2 各固定部位不得有松动现象。 3.8.3 水、气管道不允许泄漏。 3.9 外观 划片机外观应平整、光