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第六章：一些主要的半导体材料 徐桂英 材料学院无机非金属材料系 第六章：一些主要的半导体材料 半导体材料的种类虽然繁多，但已经使用和显示出应用前景的材料只是其中的一小部分。 表6.1示出了一些重要的半导体材料及有关的情况，当然，随着各种应用的发展，还会有更多的材料得到应用。 本节的重点是叙述晶体材料，一些薄膜材料将结合其应用加以叙述。 表6.1 一些重要的半导体材料 注：表中的晶片指可直接作器件的切磨片或抛光片；衬底指用于外延的衬底 6.1 硅 硅的化合物在历史上曾对人类的文明起了决定性的作用，硅的英文silicon来自希腊文silex（火石），人类利用它比较方便地取得火。同时各种岩石多是硅酸岩，也是古人类的工具与建筑材料。1924年分离出元素。元素状态的硅的用途在第二次世界大战前主要用作冶金的添加剂，从20世纪50年代开始，硅逐渐成为最重要的半导体材料，这种地位在可预见的将来不会发生明显的变化。 6.1.1 基本性质 Si在元素周期表内属（IV-A）族，原子序数14，原子量28.0855，在自然界无游离状态，主要以氧化物的形态存在。它在地壳的丰度达25.8%。 主要的原子价为4价，其次为2价。在常温下化学性质稳定，不溶于单一的强酸，易溶于碱。在高温下性质活泼，易与各种材料发生反应。 硅在自然界的同位素有3个，它们所占的比例分别为（%）：28Si=92.23；29Si=4.