第十章-谐振式传感器.pptVIP

五、压电谐振式传感器 压电谐振式 压差传感器 如图所示为由石英晶体谐振器构成的振梁式压差传感器。两个相对的波纹管1用来实现压力差的传递，采用杠杆3形成绕支点4的力矩并传递给力敏石英振子7，它受拉伸或压缩力作用后改变了晶体的谐振频率。通过改变杠杆臂比以及波纹管的截面积和配重6来选择合适的压力-频率转换关系。壳体2所包围的空间5抽成真空。 五、压电谐振式传感器 力敏石英谐振器的结构 如图所示为力敏石英谐振器的结构。贴有电极4的振梁3居振子中央。振梁不直接固定在产生输出力的构件上，以防止反作用力、力矩上基座的能量损失和Q值降低，有利于提高稳定性。为避免振梁和机械系统直接连接，在振梁3和固定表面6之间采用了机械隔振器，它由弯曲去载区1、隔离器弹性体2及隔离器质量块5组成。隔振系统的固有频率很低，故可消除对振梁谐振频率的影响，同时弯曲去载区还可消除横向力的影响。 五、压电谐振式传感器 逆压电效应激振示意图 用金属蒸发沉积的方法在振梁上下两表面对称地设置四个电极。利用压电效应的可逆性，组成自激振荡电路。当四个电极被加上电场后，梁在一阶弯曲状态下起振。当某一方向的电场加到石英晶体上时，由于产生厚度切变，矩形梁变成平行四边形，电场反向，平行四边形的倾斜也随之反向。当斜对着的一对电极与另一对电极的极性相反时，梁就呈一阶弯曲状态；变换这两对电极极性方向后，梁向相反方向弯曲。 * 第十章 谐振式传感器