1-第一讲--薄膜材料物理--第一章薄膜的形成.pptVIP

第一讲 第一章 薄膜的形成 《薄膜材料物理》研究生课程 参考教材： 薄膜物理，曲喜新编著，上海科学技术出版社 1986，上海 薄膜物理，薛增泉、吴全德、李洁，电子工业出版社，1991，北京 课程主要内容 第一章：薄膜的形成 第二章：薄膜的力学性质 第三章：金属薄膜的电导 第四章：薄膜的表面和界面 第五章：介质薄膜的电学性质 第六章：压电薄膜的电学性质 机械方法（涂上） 薄膜材料制备 物理方法（物理气相沉积PVD） 化学方法（化学气相沉积CVD） 第一章 薄膜的形成 第一讲 本章主讲物理气相沉积（PVD）:磁控溅射、热蒸发、 二级溅射等。 气相 吸附相 固相 单个原子吸附在基体上，由几个被吸附的单个原子相 互结合形成小原子团（凝结相），小原子团长大，晶核， 晶核继续长大，形成不连续薄膜，形成连续薄膜。 范德华力为主 §1.1 单体的吸附 ①概念：一个自由原子进入基体的作用力场以后，到达基体表面被物理吸附，其吸附能（根据固体理论）： 本征吸附能：第一个原子层与基体表面间的结合能。 内聚能: 吸附层数增