共溅镀氧化铟锌透明导电薄膜热稳定性之研究.ppt

科技論文寫作期末報告 指導教授：張慎周 學 生：褚瑞鵬 學 號：G990J028 論文題目： 共濺鍍氧化銦鋅透明導電薄膜熱穩定性之研究 論文出處： 真空科技　十九卷三期 論文作者： 林俊興1、許加昇1、蔡富鈞2、劉代山1 1國立虎尾科技大學光電與材料科技研究所 2國立虎尾科技大學光電工程系 目錄 題目 摘要 前言 材料與方法 結果 討論 題目 論文題目： 共濺鍍氧化銦鋅透明導電薄膜熱穩定性之研究 分析： （１）題目的長度： 此文題目長度適中，明顯表達題意，並無多餘贅字。 （２）明確的題目： 此文題目明確，也無出現概括字眼。 （３）縮寫及專用術語： 並未使用縮寫以及專門術語來造成檢視的困難。 摘要 分析： (1)定義–本文摘要對前言、材料、結果、討論提供簡單扼要的敘述。 (2)字數–字數雖為355字，但並未造成閱讀上的不便，並以單段式方式呈現 (3)描述方法–本文摘要以陳述事實的方式描述，內容並沒有內文未提及 　　　　　　　之資訊，也沒有引用任何參考文獻。 (4)類型–本文摘要主要以濃縮論文而成，屬於知識性摘要。 (5)字句–本篇摘要的寫法簡單明確，並在摘要結尾提出關鍵詞使讀者更容易 　　　　　閱讀。 前言 分析： （1）呈現問題–本文前言清楚的敘述過去常用的氧化鋅所遇到導電性的 　　　　　　　問題，並說明利用熱處理來做此研究的動機與目的。 （2）相關文獻–本文前言以回顧相關文獻方式引導並輔助讀者閱讀。 （3）研究方法–本文前言簡單敘述研究動機與實驗方法，並說明其方法的理由 （4）文獻引證和縮寫–本文前言並未在結尾說明是否有相關論文在他處刊登， 　　　　　　　而內容中並無使用縮寫。 材料與方法 分析： （1）實驗細節-本文細節指出氧化銦錫與氧化鋅為共濺鍍靶材，腔體壓力小於 2.67 ×10?4 帕、沉積壓力為1.33帕、製程氣體為氬氣，並以藍寶石為基板。 （2）材料-本文研究材料皆使用俗名並無使用商品名稱來表示。 （3）方法-共濺鍍透明導電膜置於混合氣體(95% Ar +5% H2)，熱處理時間為30分鐘。在熱處理前後分別以四點探針量測薄膜電阻率，X 光繞射儀量測薄膜結構的變化。 結果 分析： (1)描述–本文大致描述了實驗結果，依照先後的順序，並以條列且分段 　　　　　式的分別說明其內容及目的，並沒有多餘的字句，也沒有重 　　　　　複實驗細節。 (2)數據–本文結果以圖表的方式呈現實驗數據。其中圖2、圖3表示在不 　　　　　同參數下呈現的電阻率，又以圖4至圖8表示不同鋅原子比例 　　　　　在X光繞射圖的變化。而本文所示的數據為代表數據“，並 　　　　　不是一再的重複測量資料。 (3)結果的重點–本文結果文字明確，將實驗結果清楚呈現讓讀者知道， 　　　　　並無太過冗長、沒有多餘的字句，並未讓讀者不清楚實驗之 　　　　　重點。 討論 分析： 本文結論用字簡單明確，並沒有冗詞及模糊討論的焦點。 (2) 本文結論明確的描述實驗目的與事實的關聯。明確指出氧化銦鍚薄膜在適當溫度熱處理混合氣體的環境下可以得到最佳的電阻率值。 (3) 本文結論依照起初實驗的研究方向，闡明原理、事實。 (4) 本文以實驗方法、實驗數據、達到研究方向，表達結果所呈現出的 　　原理通則，並敘述其優點，並為每項實驗數據得到的結論歸納出證 　　據。 報　告　結　束 謝　謝　指　教