湿度传感器 不要财富值 免费鄙视要高财富值的课件.pptVIP

* * 20.2 湿度传感器 ( Humidity Transducer) 湿度传感器：把相对湿度的变化转换成电信号的器件。 感湿特点： 在基片涂覆感湿材料形成感湿膜。空气中的水蒸汽吸附于感湿材料后，元件的阻抗、介电常数发生很大的变化，从而制成湿敏元件。 一、湿度传感器分类 1、湿度及其表示方法 表示环境中水蒸气含量的物理量。 绝对湿度：气氛中含水量的绝对值。 相对湿度：气氛中水蒸气压与同一温度下的饱和蒸汽压之比。 2、分类 根据工作原理 湿敏电阻器 半导体陶瓷湿敏电阻器 元素材料湿敏电阻器 化合物湿敏电阻器 高分子湿敏电阻器 湿敏电容器 湿敏晶体管 二、湿敏电阻器的工作原理及特性 1、金属氧化物半导体陶瓷湿敏电阻器 工作原理： 水分子具有很强的电子亲和力，易于在多孔性半导体陶瓷表面附着，并俘获电子，在半导体陶瓷表面形成空穴积累，导致半导体陶瓷的电阻率降低。 晶胞间界水分子的电离。 电阻－湿度特性 半导体陶瓷显示负感湿特性，随着湿度的增加，材料的电阻率下降。 湿敏电阻器结构： 2、元素材料湿敏电阻器 元素半导体材料或碳元素材料制成的元件。 碳湿敏电阻器 显示正感湿特性。 有机材料吸潮引起体积膨胀， 碳粒间距离增大，导致电阻增大。 元素半导体湿敏电阻器 显示负感湿特性。 薄膜湿度传感器湿度特性曲线 3、高分子膜湿敏电阻 有机高分子膜湿敏电阻是在氧化铝等陶瓷基板上设置梳状型电极，然后在其表面涂以具有感湿性能，又有导电性能的高分子材料的薄膜，再涂复一层多孔质的高分子膜保护层。这种湿敏元件是利用水蒸汽附着于感湿薄膜上，电阻值与相对湿度相对应这一性质。 4、湿敏电阻器的特性 1）电阻－湿度特性 2）时间常数 衡量湿敏电阻器随温度的跃变其阻值的变化速率。 湿敏电阻的时间常数越小越好。 湿敏电阻器的阻值增加量从零变化到稳定增加量的63％所需的时间。 3）滞后效应 湿滞回线和湿滞量 湿敏电阻器周围湿度变化一个往返周期，相应的电阻值变化曲线在吸湿和脱湿过程中并不重复，形成一个类似磁滞回线的湿滞环。 三、湿敏电容器的工作原理及特性 利用器件的电容随湿度变化而变化的特性。 电容随湿度的变化取决于介质介电常数ε随湿度的变化来确定。 电容式湿敏元件的优点在于响应速度快、体积小、线性度好、较稳定，国外有些产品还具备高温工作性能。但是达到上述性能的产品多为国外名牌，价格都较昂贵。市场上出售的一些电容式湿敏元件低价产品，往往达不到上述水平，30%RH以下，80%RH以上感湿段变形严重。有些产品采用单片机补偿修正，使湿度出现阶跃性的跳跃，使精度降低，出现一致性差、线性差的缺点。无论高档次或低档次的电容式湿敏元件，长期稳定性都不理想，多数长期使用漂移严重，湿敏电容容值变化为pF级，1%RH的变化不足0.5pF，容值的漂移改变往往引起几十RH%的误差，大多数电容式湿敏元件不具备40℃以上温度下工作的性能，往往失效和损坏。? 　　　　 　　 电容式、电阻式湿敏元件的优、缺点： 电容式湿敏元件抗腐蚀能力也较欠缺，往往对环境的洁净度要求较高，有的产品还存在光照失效、静电失效等现象。 金属氧化物陶瓷湿敏电阻，具有湿敏电容相同的优点，但尘埃环境下，陶瓷细孔被封堵，元件就会失效，往往采用通电除尘的方法来处理，但效果不够理想，且在易燃易爆环境下不能使用，氧化铝感湿材料无法克服其表面结构天然老化的弱点，阻抗不稳定，金属氧物陶瓷湿敏电阻也同样存在长期稳定性差的弱点。? 四、湿敏晶体管 （一）湿敏二极管 1、SnO2湿敏二极管结构 在硅片上生成SiO2层，并在其上淀积一层SnO2 做为敏感膜，上下镀膜形成Al电极。 2、SnO2湿敏二极管工作原理 处于反向偏压，使二极管处于雪崩区附近。随着湿度的增加，二极管 的结区边缘处有水分子 吸附，使耗尽层变宽， 使二极管的雪崩电压提高， 在保持反向电压和负载不变的 情况下，随湿度增加，击穿电 压增高导致晶体管的反向电流减小。 （二）湿敏MOS晶体管 MOS场效应管的栅极上涂覆一层感湿薄膜。 1、精度和长期稳定性? 　　　　 　　湿度传感器的精度应达到±2%~±5%RH，达不到这个水平很难作为计量器具使用，湿度传感器要达到±2%~±3%RH的精度是比较困难的，通常产品资料中给出的特性是在常温（20℃±10℃）和洁净的气体中测量的。 在实际使用中，由于尘土、油污及有害气体的影响，使用时间一长，会产生老化，精度下降，湿度传感器的精度水平要结合其长期稳定性去判断，一般说来，长期稳定性和使用寿命是影响湿度传感器质量的头等问题，年漂移量控制在1%RH