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带电粒子束的扫描偏转 西安交通大学 康永锋 提纲 n 扫描偏转电、磁场的形式及其多极场分析 电子光学 第4单元 P.3 扫描偏转探针系统及扫描偏转成像的意义 扫描偏转探针系统：用于形成扫描图像，或逐点扫描探测。 定义：电子枪与缩倍 (demagnified)的电子透镜组合形成具有微细束斑的电子束 rf (r ,)i 探针；＋扫描 （随时间变化、可控制）偏转系统。束斑在 “靶面”扫描。 主要电子光学参量：分辨率、扫描场尺寸 （扫描图像包含的像素 ）。 扫描偏转成像的电子光学要求和其他要求 电子光学：聚焦透镜 （中心束斑）的分辨率高 扫描偏转不带来散焦 （边缘分辨率不显著降低） 线性偏转 （偏转位移 偏转电信号V或I，扫描图形保真）。 其它要求：适当的束加速电位和束电流、扫描速度 （频率响应的最高频率及频带 宽度,一个扫描场的扫描时间）、足够小的功耗、尺寸、重量和良好的真空性能。 电子光学 第4单元 P.4 扫描偏转探针系统及扫描偏转成像的意义 主要应用： (1) 形成扫描图像： （显像管、显示管、示波管、条纹分幅像管、SEM）；电 rf (r ,)i 子探针－敏感器－执行器 （X射线分析、电子束曝光、集成电路观察检测、离 子束溅射、无掩模离子注入和离子铣削）。 (2) 形成脉冲电子束 （偏转＋光栏）：IC电子束曝光光刻和探测系统，热波 扫描电子显微镜，变像管超快相机。 (3) 形成均匀电子离子辐照：离子注入装置，IC电子束退火。 (4) 信息时间－空间转换：扫描条纹变像管 (streak tubes), 扫描分幅变像 管 （相机），变像管光雷达，电子束超快编码 （E-Beam AD converter）。 提纲 电子光学 第4单元 P.5 , n 扫描偏转电、磁场的形式及其多极场分析 横向的均匀电场和均匀磁场的偏转作用 1).均匀电场偏转作用： 电子束z-方向轴，z 0 - l, x-方向 （横向）均匀电场；靶面z l + L, 轴上加速 电位 ；偏转板距离d, 电压 Φ ±U。 rf (r ,)i 轴向运动-匀速 v 2 z v t z z x-方向运动－匀加速 2 2 2 a E, v at Ez/v , x 1/2at 1/2Ez v x z z v Ul tan x v d z Ul l l l     x  L ,   L   