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纯臻净化
湖南长沙无尘车间定义及相关知识
一 无尘车间的定义:
无尘车间也叫洁净厂房、洁净室(Clean Room)、无尘室,是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
二 无尘车间管理的目的:
半导体产品生产过程对车间有明确的洁净要求,为了满足生产工艺需要、保证产品质量、安全生产,必须对洁净室的环境、人员、物料、设备、生产过程等进行控制。
三 无尘车间设计:
1. 合理布置工艺流程和建筑平面。
2. 选择满足无尘车间特点的建筑构造和材料。
3. 无尘车间设计应依据当时当地的能源供应背景,选定可靠和经济的冷、热源。
4. 划分和布置空调净化和排风系统。
5. 选择合理的空气净化通风设备; 无论是新建还是重新改造的无尘车间,都一定依照国家相关标准、规范进行。
四 无尘车间制作:
1. 天花板系统:包括吊杆、纲梁、天花板格子梁,材料一般是:彩钢板与无尘板。
2. 空调系统:包括主机、风管、过滤器系统、FFU等。
3. 隔墙板:包括窗户、门,材料是彩钢板,但彩钢板的夹芯有很多种。
4. 地板:高架地板或防静电PVC地板或环氧树脂地板。
5. 照明器具:采用无尘专用灯具。
五 无尘车间的结构材料:
1.净化厂房墙、顶板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板制造,其特点为美观、刚性强。圆弧墙角、门、窗框等一般采用专用氧化铝型材制造。
2.地面可采用环氧自流坪地坪或高级耐磨塑料地板,有防静电要求的,可选用防静电型。
3.送回风管道用热镀锌板制成,贴净化保温效果好的阻燃型PF发泡塑胶板。
4.高效送风口用不锈钢框架,美观清洁,冲孔网板用烤漆铝板,不生锈不粘尘,宜清洁。
六 进出无尘车间的细节要求:
①进入无尘车间前,个人物品须放入指定的柜子,去掉化妆和首饰,换上指定的洁净服、鞋。 ②为不干扰室内的洁净气流型式,在作业区上流侧不应放置物品,回风口附近不要堆放物;送风孔板下不应堵塞和堆放物品,生产操作应在洁净工作台或气流的上游进行。③严禁在无尘车间内吸烟、饮食和进行非生产性活动。④戴帽时,应将头发全部遮住,鞋套应将裤脚下摆紧紧裹在鞋套。⑤进入无尘车间的人员应严格要求执行人身净化过滤器制度、路线和程序。退出无尘车间时,必须按如上顺序、路线进行,不允许将洁净用品带出门厅。
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