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材料物理化学第七章.pptx 55页

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1 第七章 扩散过程 从本章开始以动力学的方法研究扩散、固相反应、相变和烧结过程。主要研究过程的宏观规律、微观机制、过程进行的速度以及影响因素等。 7.1 晶体中扩散的基本特点与扩散的宏观规律 7.2 扩散机构与推动力 7.3 扩散系数 7.4 影响扩散的因素 2 7.1 晶体中扩散的基本特点与扩散的宏观规律 一、晶体中的扩散及其主要特点 什么是扩散? 物质中原子或分子由于能量升高迁移到邻近位置的微观过程及由此引起的宏观现象叫扩散。扩散是个传质过程。 固体中扩散的主要特点: 1、固体中质点的扩散往往开始于较高的温度,但远低于熔点温度。 2、固体中质点扩散往往具有各向异性,扩散的速度缓慢,且迁移方向和距离都受结构限制。 3 二、扩散的宏观规律(动力学方程) 1、Fick第一定律 1855年由德国学者Fick提出,适用于稳定扩散。稳定扩散是指扩散物质的浓度只随位置而变,不随时间而变的扩散;即: 4 Fick第一定律的推导: 假设扩散物质M在Ⅰ区的浓度为C1,在Ⅱ区的浓度为C0,且C1>C0,则在浓度梯度的推动下M沿X方向进行扩散。假设在dt时间内,通过截面积为ds的薄层的M物质的量为dG,则: 5 式中: J—扩散通量(单位时间内通过垂直于扩散方向上单位截面积的原子个数叫扩散通量),D—扩散系数(cm2/s) 三个方向的Fick第一定律表达式为: 式中 分别为x、y、z方向的单位矢量。 2、Fick第二定律 Fick第二定律适用于不稳定扩散。不稳定扩散中扩散物质的浓度不仅随位置而变,而且随时间而变,即: 6 Fick第二定律的推导: 仍取一个厚度为dX,截面为A的薄层,由于是不稳定扩散,进入薄层的M物质的原子数与离开薄层的原子数不相等,但总原子数应守恒。即: (单位时间内通过X面进入薄层的原子数)-(通过X+dX面离开的原子数)= 薄层内增加的原子数 7 将JX=﹣Ddc/dx代入, 得: 三维的菲克第二定律为: 三、扩散方程的应用 1、Fick第一定律的应用 气体通过玻璃﹑陶瓷薄片的渗透以及气罐中气体的泄 露都可以看作稳定扩散。 对于浓度梯度固定不变的稳定扩散问题,应用第一定律可确定流量。 8 例:气体通过玻璃的渗透,求单位时间内通过玻璃渗透的气体量。 ∵P2>P1(玻璃两侧的压力) ∴S2>S1(气体在玻璃中的溶解量) 积分: 双原子分子气体溶解度与压力的关系为: 则: 9 2、Fick第二定律的应用 实际是根据不同的边界﹑初始条件,求解二阶偏微分方程。常用的两种解:ⅰ)恒源向半无限大物体扩散的解;ⅱ)有限源向无限大或半无限大物体扩散的解。 ⅰ)恒源向半无限大物体扩散。如晶体处于扩散物质的恒定蒸气压下,气相扩散的情形(例如把硼添加到硅片中)。 式中: K—玻璃的透气率 A—玻璃面积 对于浓度梯度随时间变化的非稳定扩散问题,应用第二定律可求的扩散物质的浓度c(x,t)。 10 求解: A、B两棒对接,物质A沿X方向向B中扩散 边界条件: t=0时, x<0处 c=c2 x>0处 c=c1=0 t>0时, x<0处 c=c2 x→∞处 c=0 引入新变量,使偏微分方程变为常微分方程 (1) 令 则: (1)式左: (1)式右: 11 令 得: 积分: ∵ ∴ 12 积分: ∴ 令 则: 根据边界条件,确定 (2) 和B的值, 13 且 t=0 时,X>0 处 C = C1 = 0 X<0 处 C = C2 故得: ∴ (∵C1=0) 14 把 和B代入(2)式,得: 有高斯误差函数可知: 即: ∴ 15 就是说,当扩散物质的浓度一定时,扩散深度与扩散时间的平方根成正比。 例题1:把硼添加到硅片中的方法是:在1100oC下当B2O3分压达到某一定值后,其在硅片表面的溶解度达到饱和状态,相应浓度为CS=3×1026原子/cm3。保持B2O3分压恒定,就能保持CS恒定,则B2O3向硅一个方向扩散,从而把硼添加到硅片中。若已知在11000C时硼的扩散系数D=4×10-17m2/s,扩散时间是6min。求硼浓度随距离的变化曲线。 在实际应用中常将上式简化: 16 解:这是一个恒

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