微机电系统第二章MEMS设计基础2.pptVIP

杨大勇 第二章MEMS设计基础 内容提要 提问 MEMS的分类和特点？ MEMS的典型产品有哪些？分别应用在哪些领域？ MEMS的设计涉及那些学科？ 可以用作MEMS中的材料有哪些？ 四、 MEMS设计的基本问题 1、MEMS的CAD 设计时需要考虑的几个因素 对商业产品而言，五个因素都很重要；对仪器研发而言，有必要关注以上所有的因素，而且与使用的制作技术有关；对于技术探索来说，则可暂不必考虑市场需求。 总体而言，掌握相关技术无论对哪种目的的设计都十分重要。 2、MEMS建模 2、MEMS建模 五、 MEMS设计的具体方法 有限元方法简介 有限单元法是随着电子计算机的发展而迅速发展起来的一种现代计算方法。它是50年代首先在连续体力学领域--飞机结构静、动态特性分析中应用的一种有效的数值分析方法，随后很快广泛的应用于求解热传导、电磁场、流体力学等连续性问题。 有限元以结构力学和弹性力学为理论基础，以计算机为媒体，以有限元程序为主体，对大型结构工程的数值计算方法。 有限元的核心思想是结构的离散化，就是将实际结构假想地离散为有限数目简单单元的组合体，实际结构的物理性能可以通过对离散单元进行分析，得出满足工程精度的近似结果来替代对实际结构的分析。 MEMS设计软件 ANSYS MEMSPRO Intellisuite CoventerWARE COMSOL Multiphys