微弧氧化生成钛酸盐系铁电薄膜研究.pdf

第１９卷　第２期 材　料　科　学　与　工　艺 Ｖｏｌ１９ Ｎｏ２ 　 　 ２０１１年４月 ＭＡＴＥＲＩＡＬＳＳＣＩＥＮＣＥ＆ＴＥＣＨＮＯＬＯＧＹ Ａｐｒ．，２０１１ 　　　　　　 微弧氧化生成钛酸盐系铁电薄膜研究 １ １ ２ 黄文波 ，李文芳 ，吴　晶 （１．华南理工大学 材料科学与工程学院，广州５１０６４０，Ｅｍａｉｌ：ｘｉａｐｉｐｉ＠２１ｃｎ．ｃｏｍ； ２．广东交通职业技术学院机电工程系，广州５１０８００） 摘　要：为开发新的铁电薄膜制备工艺，需将 Ｔｉ板微弧氧化．采用 Ｂａ（ＯＨ）、Ｂａ（ＣＨＣＯＯ）、ＢａＣｌ、 ２ ３ ２ ２ Ｂａ（ＯＨ）＋Ｂａ（ＮＯ）及Ｐｂ（ＣＨＣＯＯ）对Ｔｉ板进行微弧氧化试验，并对生成的薄膜进行物相组成和显微 ２ ３ ２ ３ ２ 形貌的分析．结果表明：Ｔｉ板在ＢａＣｌ、Ｐｂ（ＣＨＣＯＯ）及 Ｂａ（ＯＨ）＋Ｂａ（ＮＯ） 中不发生微弧氧化，在 Ｂａ ２ ３ ２ ２ ３ ２ （ＯＨ）、Ｂａ（ＣＨＣＯＯ） 中发生微弧氧化．薄膜主要由ＢａＴｉＯ 相构成，表面散布着很多微孔，薄膜厚度均匀． ２ ３ ２ ３ 根据实验结果，可以得出微弧氧化生成铁电薄膜对溶液成分的要求和发生反应的电流－浓度区间，以及工艺 参数的选用原则．薄膜在１ｋＨｚ频率下的介电常数为１１２． 关键词：铁电薄膜；制备技术；钛酸盐；ＢａＴｉＯ；微弧氧化 ３ ＋ 中图分类号：ＴＢ３４；ＴＭ２２１ 文献标志码：Ａ 文章编号：１００５－０２９９（２０１１）０２－００５２－０５ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎｏｆｔｉｔａｎａｔｅｆｅｒｒｏｅｌｅｃｔｒｉｃｔｈｉｎｆｉｌｍｓｂｙｍｉｃｒｏａｒｃｏｘｉｄａｔｉｏｎ １ １ ２ ＨＵＡＮＧＷｅｎｂｏ，ＬＩＷｅｎｆａｎｇ，ＷＵＪｉｎｇ （１．ＣｏｌｌｅｇｅｏｆＭａｔｅｒｉａｌＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，ＳｏｕｔｈＣｈｉｎａＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｇｕａｎｇｚｈｏｕ５１０６４０，Ｃｈｉｎａ，Ｅｍａｉｌ：ｘｉａｐｉｐｉ＠ ２１ｃｎ．ｃｏｍ；２．Ｄｅｐｔ．ｏｆＭｅｃｈａｎｉｃａｌａｎｄＥｌｅｃｔｒｉｃａｌＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，ＧｕａｎｇｄｏｎｇＣｏｍｍｕｎｉｃａｔｉｏｎＰｏｌｙｔｅｃｈｎｉｃ，Ｇｕａｎｇｚｈｏｕ５１０８００，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｔｏｄｅｖｅｌｏｐａｎｅｗｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙｆｏｒｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎｏｆｆｅｒｒｏｅｌｅｃｔｒｉｃｔｈｉｎｆｉｌｍ，Ｔｉｐｌａｔｅｓｍｕｓｔｂｅｍｉｃｒｏａｒｃｏｘｉ ｄａｔｅｄ．Ｉｎｔｈｉｓｐａｐｅｒ，Ｔｉｐｌａｔｅｓｗｅｒｅｐｒｏｃｅｓｓｅｄｂｙｍｉｃｒｏａｒｃｏｘｉｄａｔｉｏｎ（ＭＡＯ）ｉｎａｓｅｒｉｅｓｏｆｅｌｅｃｔｒｏｌｙｔｅｓ，ｗｈｉｃｈ ｗｅｒｅｃｏｍｐｏｓｅｄｏｆＢａ（ＯＨ），Ｂａ（ＣＨＣＯＯ），ＢａＣｌ，Ｂａ（ＯＨ）＋Ｂａ（ＮＯ），Ｐｂ（ＣＨＣＯＯ）ｒｅｓｐｅｃｔｉｖｅｌｙ， ２ ３ ２ ２ ２ ３ ２