电子材料工艺原理-电子科技大学(1).pptVIP

电子材料工艺原理 贾利军 电子科技大学微电子与固体电子学院 电子材料工艺原理 教学要求 熟悉电子陶瓷制造的主流方法，明确重点工艺环节对显微结构、性能的影响； 了解合成纳米晶材料的主要方法（共沉淀法、溶胶－凝胶法、水热法等）； 对电子薄膜、单晶的制造有一定的了解 电子材料工艺原理 教材和参考书 教材：电子材料工艺原理(讲义) 参考书： 1.《先进陶瓷工艺学》，刘维良等编著，武汉理工大学出版社，2004年 2.《陶瓷工艺》，理查德.J.布鲁克主编，科学出版社，1999年 3.《电子材料与工艺》，黄运添等编著，西安交通大学出版社，1990年 第一章 电子陶瓷制造中的工艺控制 1.1 引言 第一章 电子陶瓷制造中的工艺控制 第一章 电子陶瓷制造中的工艺控制 第一章 电子陶瓷制造中的工艺控制 产品性能的优劣取决于二方面的影响：首先是内因，主要指原料的纯度（含杂量）、组成、形貌（颗粒尺寸及分布、外形）等，影响化学反应的进度、晶体的生长情况及显微结构的均匀性，并进而影响到最终产品的电磁性能；其次是外因，主要指制备工艺，影响化学反应和显微结构。只有从两方面入手，充分发挥内、外因的潜力，才有可能实现低成本、高品质的目的。 第一章 电子陶瓷制造中的工艺控制 第一章 电子陶瓷制造中的工艺控制 1.3 粉料 ? 图1-2 粉料中颗粒团