背散射电子与X射线信号.ppt

* 一例合金的微区成分分析 BEI ZnKa AgLa SEI CuKa SnLa 进一步分析得出：1：SnAg 2：AgSn 3：ZnCuAg * 综合分析得出：亮区为：CuFeS2，次亮区：FeS2。 一例Cu矿矿石的的电子显微分析 * 一例合金的微区成分分析 Mg Al O Ni BEI Fe 量区Fe，暗区是Mg、Al，界面含Ni、O * 一例锆钛合金的微区成分分析 * 一例合金的微区成分分析 量区：Fe及少量Si、Mn 暗区：C及少量Fe * X射线成分像的特征 分辨率较低，图像显得模糊，原因是X射线信号的作用范围大。 图像可反映一个面上的分布(面扫描像)或沿某个直线或折线方向的分布(线扫描像)。 样品的要求：一般样品要经过抛光打磨，使表面平整，这样反映的成分信息更充分。 X射线成分像一般与背散射电子像联合使用。 * 作业 1 描述背散射电子像及X射线成分像。 第二章 电子显微镜 * 1 背散射电子(back-scattered electron)与背散射电子像 背散射电子是指被固体样品原子反射回来的一部分入射电子，其中包括弹性背散射电子和非弹性背散射电子。 弹性背散射电子是指被样品中原子核反弹回来的，散射角大于90度的那些入射电子，其能量基本无变化。 非弹性背反射电子是入射电子和核外电子撞击后产生非弹性散射，不仅能量变化，而且方向也发生变化。能量范围很宽，从数十eV到数千eV。 * 弹性背散射电子 能量 = 入射电子能量 非弹性背散射电子 能量 入射电子能量 背散射电子的能量，从50eV到接近入射电子的能量(几keV——几十keV)。 * 背散射电子的穿透能力比二次电子强得多，可从样品中较深的区域逸出(微米级)，在这样的深度范围，入射电子已有相当宽的侧向扩展，因此在样品中产生的范围大。 1μm Back scattered electrons 二次电子分辨率 背散射电子分辨率 * 背散射电子的分辨率远低于二次电子的分辨率。 * (1) 背散射电子产额η 背散射电子产额η与角度α的关系 由图可知，背散射电子产额，也受样品表面形态的影响，但变化幅度比较小。 * 背散射电子产额η、二次电子产额δ与样品原子序数的关系 由图可知，随着原子序数的增加，背散射电子产额迅速增加，(二次电子产额变化不大)。 背散射电子的产额可以反映样品的原子序数相对大小。 * (2) 背散射电子的检测 * * 成像原理与二次电子像相似，把背散射电子探测器收集到的信号，以黑白灰度图像的形式显示出来。 与二次电子像相比，图像的清晰度降低，原因是背散射电子的分辨率降低了。 (2) 背散射电子成像 * 一例CuAl合金的背散射电子像 进一步分析得出：亮区为Cu，暗区为Al。 * 二次电子像(2000×) 背散射电子像(2000×) 一例Al2O3-ZrO2-SiC复合陶瓷的分析，进一步分析得出1为单独的ZrO2晶粒，2为Al2O3基底。 * 二次电子像、背散射电子像与原子序数Z的关系 SEI BEI SrTiO3+MgO复相陶瓷的二次电子像和背散射电子像 SEI:试样表面起伏清晰 BEI：起伏模糊，但亮度变化大 * 一例合金的高温无缝钎焊的背散射电子像 分析部位 Ti Cr Co Ni Mo W Nb 1. 白色骨骼相 0.23 15.83 22.85 11.72 5.26 44.11 2. 颗粒间焊接基体 0.52 14.81 35.94 43.12 3.26 2.36 3. 灰块相 65.52 11.72 4.10 2.51 16.15 4. 灰色骨骼相 66.27 12.51 4.36 2.30 14.57 * 一例地质样品的背散射电子像 分析得出，高亮度为：锆石、金银矿、黄铁矿 低亮度为：正长石、石英 研究矿体中有价矿物的赋存状态、粒度大小，为选矿提取提供素材。 * (3) 背散射电子像的特征 背散射电子像反映在区域内原子序数的相对大小——图像相当于成分的反映，因此也叫成分像。 背