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第4章 数字式传感器 4.1 光栅传感器 4.2 磁栅传感器 4.3 容栅传感器 第4 章数字式传感器 随着科学技术的进步和生产的发展，对测量提出了大尺寸、数字化、高精度、高效益和高可靠性等一系列要求，因而近年来出现了新的测量元件：数字传感器，以适应当前生产和利学技术不断发展的需要。 数字式传感器就是将被测量转化为数字信号，并进行精确检测和控制的传感器。按其定义可分为直接数字传感器和间接数字传感器。目前，它们在机床业的数控技术、自动化技术以及计量技术中已被日益广泛地采用。本章主要介绍常用的光栅传感器、磁栅传感器、容栅传感器及数字式角编码器。 4.1 光栅传感器 光栅传感器主要用于长度和角度的精密测量以及数控系统的位置检测等，在坐标测量仪表和数控机床的伺服系统中有广泛的应用。 4.1.1 光栅的结构和分类 光栅的结构 如图4-l 所示为光栅的结构。光栅是由很多等节距的透光和不透光的刻线相互排列构成的栅形光器件，主要由主光栅和指示光栅组成，主光栅又称标尺光栅。图中，W 为光栅的栅距，a 为光栅栅线的宽度，b 为光栅栅线之间的间隙宽度，三者之间的关系是W = a +b ，通常a=b 。光栅的精度越高，栅距W 就小 光栅的外形及结构 光栅的外形及结构（续） 4.1 光栅传感器 光栅的分类 光栅按照光的传播方式不同可分为物理光栅和计量光栅。 物理光栅