三次量测探头.pptVIP

學 號：M98R0202 學 生：陳奕霖 指導教授：朱志良教授 前言 探針選用與製作 觸發電路的設計 量測結果 結論 前言 一般三次元探頭在進行量測時，和量測物之間會接觸產生接觸力，而此接觸力會使探頭感測器產生變化，得到一觸發訊號。而量測時，所產生之接觸力會有過大之疑慮或是感測器昂貴等問題。 本探頭利用金屬導體之特性進行設計開發，當接觸力為臨界接觸，可防止其探針和待測物受到破壞。再利用電路製作觸發量測系統。 優點 缺點 一般接觸式 沒有傾斜與對焦的問題 不適合軟薄及微型工件 不易受環境的影響 探頭半徑需補正 不易受反射率的影響 磨耗損壞 接觸力的控制 光學非接觸式 適合軟薄及微型工件 易受環境的影響 不需探頭半徑補正 易受反射率的影響 不會磨耗損害 傾斜與對焦的問題 無接觸力的問題 具導電性接觸式 接觸力為臨界接觸 量測物須為導體 較無磨耗損壞 量測物表面須為乾淨表面 無複雜結構 當探針和待測物接觸後，會使電組之電壓產生變化。 擷取其電壓進行判別，確認此電壓為觸發之訊號而非外界雜訊。 在確認為觸發訊號後，紀錄其馬達之移動距離，進行多點量測後，繪製其結果。 探針選用與製作 三次元量測是利用探針前端之圓球接觸工件後，得到一觸發訊號。故探針的長度和前端圓球尺寸將決定能測得的工件大小。 而由於目前市售的紅寶石探針其前端圓球為0.3mm，且無法導電，須自行加工製作探針。 選用放電加工法進行加工，由於放電加工所使用之電極需為導體，故不會有探針前端圓球導電性不佳之問題。 以線放電研磨法(WEDG)進行探針之製作。 Parameters of 100μm stylus Discharge current Discharge voltage Pulse width Stop Processing speed 0.1A 40V 0.5μs 4μs 100 rpm 線放電研磨法示意圖 探針實體圖 觸發電路的設計 本研究自行設計一電路來進行探頭觸發量測。利用低能量和金屬導電的原理設計。 電壓設定大，電壓上升時間較長，訊號判讀時間長，會造成探針持續前進。 若電壓設定小，電壓快速上升，容易因電源的漣波、外界雜訊或其他電器雜訊造成觸發的誤判。 觸發電路示意圖 本研究讓電晶體永遠保持導通狀態。若迴路為開路狀態，在瞬間接通時，會造成探針前端瞬間能量過大和雜訊過多。 電晶體非永遠導通之電路，接觸時波形圖 電晶體永遠導通之 電路，接觸時波形圖 為找出適合塊規之觸發電壓，故擷取電阻電壓上升至0.5V之波形，以判別觸發訊號之最佳電壓。 除了塊規之鋼材之外，也對銅材進行準位之設定。由塊規、銅材之導通時間可得知，針對不同導電係數之量測物必須校正其觸發電壓準位，以免造成量測上的失誤。 鋼材導通電壓上升曲線 銅材導通電壓上升曲線 夾持探針採用小型三爪式夾頭，因組裝和取得容易。 而探針安裝於三爪式夾頭時，其中心容易對正，只要探針本身沒有任何變形，安裝後較無傾斜之疑慮。 由於三爪式夾頭與其它結構皆為金屬製品，而為避免影響其周圍設備和安全等疑慮，在組裝時必須增加一層絕緣層絕緣，讓整體系統在量測時，只有探針和待測物為導通元件。 量測結果 探針先由一側前進，直到觸碰塊規，得到的數值(L1)，再由另一側前進接觸得到數值(L2)，最後將兩數值相減後，再減去探針圓球之直徑d，即可得到本次量測之塊規寬度。 使用寬度9mm之塊規為待測物其量測標準差為0.56μm。 量測次數 1 2 3 4 5 量測結果(μm) 9.0099 9.0108 9.0116 9.0115 9.0117 量測次數 6 7 8 9 平均 量測結果(μm) 9.0114 9.0109 9.0104 9.0108 9.0110 寬度量測示意圖 寬度量測結果 利用塊規組成階梯狀量測物，其階梯高度為1mm。 量測方法是先將探針與底部載台接觸，取得基準值，再移至第一階進行觸發量測，記錄其結果，再將其結果與基準值相減，即可得到此階高變化。 標準差分別為1.25μm、3.36μm、2.89μm。 階梯數 標準差(μm) 0→1 1.25 1→2 3.36 2→3 2.89 階高量測示意圖 階高量測結果 量測塊規之直線度情形。 量測塊規側邊之10點位置，以每隔0.1mm進行量測。再利用最小平方法求得其直線度誤差約為0.4μm。 直線度量測示意圖 直線度量測結果(單位：mm) 本研究所製作之探頭和觸發電路應於綜合加工機上，由於機台所使用伺服馬達搭配光學尺進行量測。其馬達導螺桿牙距將決定馬達之定位精度。 若量測時，探針和待測物之間之距離小於馬達最小移動距離時，會造成探針受到接過大的接觸力而受到損壞。 使用接觸導通使電壓變化的方式進行訊號偵測，當待測物表面有氧化物或附著其他汙漬時，會造成探針和待測物之間