半导体工艺用安时计现场校准规范-北京电子仪器行业协会.docVIP

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2019-08-22 发布于天津
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半导体工艺用安时计现场校准规范-北京电子仪器行业协会.doc

北京电子仪器行业协会发布实施北京电子仪器行业协会发布实施发布中国团体标准公开半导体工艺用安时计现场校准规范征求意见稿目录前言范围规范性引用文件术语和定义概述组成结构工作原理计量特性安时直流电流直流电压校准条件环境条件校准用设备校准项目和校准方法校准项目校准前准备外观及附件工作正常性检查校准方法直流电流的示值误差直流稳定电源恒流供电直流稳定电源恒压供电直流电压的示值误差直流稳定电源恒压供电直流稳定电源恒流供电安时的示值误差校准结果表达复校时间间隔附录校准记录格式附录校准证书内页格式附录测量不确定度

T/EBA xxxx-201x T/EBA xxxxx－2019 PAGE II 北京电子仪器行业协会发布2019－xx－01实施2019－xx 北京电子仪器行业协会发布 2019－xx－01实施 2019－xx－01发布中国团体标准 T/EBA xxxxx－2019 公开半导体工艺用安时计现场校准规范 Field Calibration Specification for Ampere-Hour Meters for Semiconductor Technology 征求意见稿 PAGE I 目录 TOC \o 1-3 \h \z \u 前言 II

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