三安光电维修PPT .ppt

维修组培训;一 氢气纯化器;;一次纯化;二次纯化：钯管纯化器;纯化原理（Flash链接图标）： 把待纯化的氢通入钯管的一侧时，氢被吸附在钯管壁上，由于钯的4d电子层缺少2个电子，它可以与H形成不稳定的化学键（可逆），H在钯的作用下被电离为直径10-15数量级的质子，钯的晶格常数为10-10数量级，故可以通过钯管。质子与电子在钯的作用下重新结合形成氢分子，从另一侧逸出。在钯表面，未被电离的气体是不能通过的。所以可得到纯化氢。理论上可以得到100%的氢气，但因实际??道的洁净度和焊接工艺问题，和理论值有些差别，故只能得到99.9999999%的氢气。 由于钯的机械性能差，高温易氧化，常常使用钯银合金，银占20-30%。钯对氧气、水很敏感，遇水和氧气使钯膜容易坏。 氢气透过钯膜的速率↑与温度↑、钯膜厚度↓ 、内外压力差↑有关。 Entegris纯化器进出口压力范围100-150psi，流量60m3/h；原理为脱氧吸附式，类似国产。 技术夹道的大连科纳纯化器为其他纯化器提供再生用的氢气。; 上图显示，实际流量随着进口氢气和出口氢气压力的不同而变化。标准流量为30m3/h。如果进口200，出口50，那么实际流量为30*60%=18m3/h。 纯化器的流量和压力是我们根据机台用量选择的一个最佳值。根据进气压力和流量，我们可以估算需要用到几台纯化器，所有机台的最大氢气用量之和/纯化器流量*0.8=所需纯化器数量。;钯管纯化器异常情况总结;二 氮气纯化器;三 氨气纯化器;ISO;加热控制开关UP和气柜;JPC纯化器和VMB;D300机台;氨气纯化器出现过的问题： 1、 一期纯化器发生过PLC电池电量不足，控制失灵（更换电池）；PLC必须马上更换（3分钟内），否则造成软件中数据丢失。 2、液氨进入纯化器FM-1中，这时应检查氨气管道是否加热； 3、FM-1流量过大（5~20m3/h），检查阀门是否漏，氨气有腐蚀性，长期使用会损坏阀门。 4、流量计损坏（更换流量计）；气动阀门内漏（更换阀门）。;四 化学尾气处理器常见异常;化学尾气处理系统示意图;五 湿法尾气处理器wet scrubber system;湿法尾气处理器;六 氦质谱检漏仪;氦气瓶;原理： 在离化室内，气体发生电离，在电场作用下离子聚焦成束。并在加速电压作用下以一定的速度经过加速器的缝隙进入分析器。在均匀磁场的作用下，具有一定速度的离子将按圆形轨迹偏转。 ???? 可见，当磁场和加速电压为某一值时，不同荷质比的离子束的偏转半径不同。调节加速电压可以使氦离子束恰好通过出口缝隙，到达收集器。而不同于氦荷质比的离子束因其偏转半径与仪器的R值不同无法通过出口缝隙，所以被分离出来。 氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪（调整到仅对氦起反应的工作状态）的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。;例：检反应室过程;检漏注意事项;氮氢检漏仪;Bake炉;A烤炉;附：常识;1标准大气压=1bar=1公斤=14.5psi =760mmHg=1.013×105Pa=10.336m水柱=760torr。 psi具体单位是“lb/in2”, 就是“磅/平方英寸” ，1标准大气压(atm)=14.696磅/平方英寸(psi) 。1标准大气压（ATM）=0.101325兆帕(MPa)=1.0333巴（bar） 因为单位相差都很小，如果不是工程人员，精度要求不高的话，可以这样记： 1bar=1标准大气压（ATM）=1公斤/平方厘米 =100千帕（KPa)=0.1兆帕（MPa） 在真空科学中，真空的含义是指在给定的空间内低于一个大气压力的气体状态。人们通常把这种稀薄的气体状态称为真空状况。 ;发光参数;光强：描述在某一个方向上发出光通量的能力，定义在指定方向上的一个很小的立体角元内所包含的光通量值，除以这个立体角元，所得的商就定义为光源在此方向上的发光强度，公式为：I=d?/d? 式中：I为发光强度，d?为立体角元，d?为立体角元所包含的光通量，发光强度的单位是cd（坎德拉） 亮度：发光强度只描述了光源在某一方向上的发光能力，并未涉及到光源的面积，采用单位面积上的发光强度更能反映比较各种光源的“优劣”，这就是亮度的概念，即 L=dI/dA 单位：cd/m2 照度：表明照明程度的大小，照度E被定义为单位面积上的光通量，公式为：E=d?/dA 单位是：勒克斯（lx） 色温：色温指的是用黑体加热到某温度时,达到该物体的颜色时的温度.如5500