准一维纳米材料的制备生长机制及物性分析.doc

北京大学政学者论文集（2002年） 纳米加工及纳米碳管物性分析 PAGE PAGE 348 纳米加工及准一维纳米材料碳管的纳米加工及物性分析 The nanoprocessing nanofabrication and electrical property measurements of the 1-dcarbon NANOSTRUCTURESnanotubes 北京大学 物理学院物理系 四年级99级 王莹 摘要 本文首先介绍了北京大学最新引进的聚焦粒子束离子束纳米工作站系统(FIB)和、台湾清华大学的电子束曝光系统(E-beam Lithography)，并阐述了其结构、工作原理,，以及操作使用方法。文章着重总结了在“君政基金”实习期间, ，作者利用上述设备，在单根纳米碳管、纳米线纳米加工与性质研究方面取得获得的结果。 Abstract In this articlepaper, we first make a brief review introduction of to the structures and physical properties of the carbon nanotubes (CNTS) in their physical properties and introduce the recent results. We utilized Focused Ion Beam (FIB) was utilized to deposit Pt on the single nanotube to form electrodes. Then we can gain the I-V character of the single multi-walled carbon nanotube was measured at different temperatures. And we also use E-beam Lithography was also used to write directly some patterns in nanometer scale for future research. 引言 纳米碳管背景介绍 信息技术、生命科学技术和纳米科学技术是21世纪的主流技术,，其中纳米科技又是信息技术、生命科学技术持续发展的基础[1]。纳米结构材料(Nanostructured Materials)是指由尺度为纳米量级的超细组织构成纳米颗粒、纳米线、超晶格，以及由超细颗粒组成的固体材料。纳米材料具有很高的界面体积比,，并为介观物理研究提供了小尺度体系。介观体系纳米尺度结构的物理性质有许多特殊表现，例如普适电导涨落[2]、弹道输运[3]、库仑阻塞[4]等量子效应。自80年代中期在实验室里成功合成了纳米块体材料被合成以来后, 纳米科技的研究对象已经涉及了诸多材料、化学、物理、电子、纳米加工、生命科学等非常广泛的领域，并且它的基础研究与应用密不可分，作为代表的有。纳米材料，、纳米器件，、纳米检测与表征已经成为三类功能性很强的研究领域，其前景非常广阔，对材料制备，微电子和计算机技术，环境和能源，生物，航天航空都有必将会产生巨大贡献影响。 1991年，日本电气公司基础研究室的饭岛(Somio Iijima)[5]在电弧放电制备富勒烯的阴极产物中发现了碳的管状结构，宣告了碳的另一种全新结构—纳米碳管(Carbon Nanotube)的诞生。由此人们对纳米材料的物理化学性质展开深入研究,纳米科技和纳米电子学随之兴起。 扫描隧道显微镜(STM),扫描探针显微镜,和一些近场光学技术拉开了人们观测和操纵原子的序幕。随后出现的聚焦离子束系统(FIB),电子束曝光系统(E-beam Lithography)更是进行微加工的有利工具。本文将主要介绍利用FIB和E-beam Lithography进行纳米级微加工从而研究纳米材料的物性的工作。 利用FIB进行纳米材料的物性测量 纳米碳管最引人注目的是它的电学性质。根据直径和螺旋度不同，单层碳管可以分成金属性和半导体性两类。理论计算表明，单层金属性碳管中存在有两个导电信道（Conductive Channel），每一个对电导的贡献为一个量子电导G0，而与直径无关。由于它新奇的电学行为,科学家认为它可能成为下一代纳米电子器件的重要材料。纳米材料的物性测量已经引起了国际重视