第七讲 化学气相沉积与纳米管.ppt

第七讲、化学气相沉积与碳纳米管;What is the Deposition?;What is the Chemical Vapor Deposition?;化学气相沉积的基本原理;化学气相沉积的反应类型;影响化学气相沉积产物的主要参数;atmospheric pressure chemical vapor deposition (APCVD) low pressure chemical vapor deposition (LPCVD) plasma assisted (enhanced) chemical vapor deposition (PACVD, PECVD) photochemical vapor deposition (PCVD) laser chemical vapor deposition (LCVD) metal-organic chemical vapor deposition (MOCVD) ;化学气相沉积的装置;化学气相沉积的装置;化学气相沉积的装置;化学气相沉积的装置;化学气相沉积的装置;化学气相沉积的装置;化学气相沉积装置的加热方式;化学气相沉积的源物质;化学气相沉积中气态物种的输运;化学气相沉积系统的热力学;化学气相沉积系统的动力学;实验参量对不同控制机制的作用;化学气相沉积的表面过程及沉积机理;化学气相沉积中的成核机理;化学气相沉积中的气