试验方法与步骤.doc

第三章 實驗方法與步驟 3-1藥品： 藥品名 重量 source 氯化亞錫(SnCl2．5H2O) 7.0000 島久藥品株式會社 甲醇(CH3OH) 16.70ml 島久藥品株式會社 去離子水 83.30ml 以美國公司，IOWA-52001型逆滲透壓純水系統產出，電阻值18.2（mΩ∕cm）以上。 丙酮（CH3COCH3 50ml 島久藥品株式會社 3-2儀器： 本實驗分別探討不同時間、基板溫度、不同酸鹼值，這些參數對氯化亞錫薄膜之電阻率、透光性、結晶性之影響，我們用Hall與四點探針儀測量電量，電阻率和片電阻，以紫外光/可見光光譜儀做光學量測，以x光繞射儀來分析晶體結構與晶體成長方向，以SEM觀察晶體表面形態並測量薄膜厚度。 3-2- 霍爾效應即是移動電荷在電磁場中，受到勞倫茲作用力(Lorentz force)產生一感應電場，而此電場會產生一個跨越半導體的電壓，稱之為霍爾電壓(Hall voltage)，有如下的公式3-2： 　 ．．．．．．．公式3-2 其中B為外加磁場，I為外加電流，d為半導體厚度，而RH稱為霍爾係數(見公式3-3,3-4)。當載子分別為電洞與電子而言，其霍爾係數分別為 ．．．．．．．公式3-3 ．．．．．．．公式3-4 因此對p 型半導體而言其