退火温度对LaNiO3薄膜组织结构及电阻率的影响.docVIP

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2019-08-04 发布于天津
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退火温度对LaNiO3薄膜组织结构及电阻率的影响.doc

退火温度对冯治棋戴培华席博兰州理工大学材料学院兰州兰州理工大学甘肃省有色金属新材料省部共建国家重点实验室兰州摘要采用射频磁控溅射法在上制备出薄膜并通过等进行表征结果表薄膜在未退火状态下出现一定的择优取向在空气中随着退火温度的增加结晶性更好出现钙钛矿型结构退火时出现杂相发生分解导致薄膜表面形貌发生巨大变化电阻率与结构中的氧空位有密切联系退火温度增加氧空位减少电阻率减小在退火时可以得到关键词薄膜退火温度显微组织电阻率中图分类号文献标志码文章编号氧化物薄膜在高温超导铁电巨磁阻效应领域有着广泛的应用前景

doi：10.3969/j.issn.1007-7545.2013.11.015退火温度对LaNiO doi：10.3969/j.issn.1007-7545.2013.11.015 冯治棋1，戴培华2，席博2 (1兰州理工大学材料学院，兰州 730050；2.兰州理工大学甘肃省有色金属新材料省部共建国家重点实验室，兰州 730050) 摘要：采用射频磁控溅射法在Si（111）上制备出LaNiO3薄膜，并通过XRD、SEM等进行表征。结果表眀，LaNiO3薄膜在未退火状态下出现一定的择优取向，在空气中随着退火温度的增加，结晶性更好，出现钙钛矿型结构；900 ℃退火时出现杂相，LaNiO3

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