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雷射都卜勒振動儀系統簡介及其在產品檢測之應用  磁碟機的重要元件 HDA (Head Disk Assembly) 主軸馬達(spindle motor) 滑行體(slider) 產生空氣浮力(air bearing)磁頭位於其上 Load/Unload技術 讀寫時才將磁頭動態載入磁碟片上方 減少磁頭與碟片表面間的磨耗 磁碟機受撞擊時可以即時將磁頭拉回避免磁頭撞毀 HDI (head disk interface)仍為當前重要考量 MAGNUS可於完成之磁碟機中進行磁頭飛行高度量測，空氣軸承動力行為及HDI量測為磁碟機領域重要技術 Magnetic Nanometer Universal measurement System Purpose: Clearance measurement tool Vertical clearance磁頭的垂直飛行高度, spin-down, spin up. Lateral clearance (TMR) Velocity Jitter Characteristics: Use Wallace spacing loss theory to measure disk head flying clearance Use ratios and differences to obtain absolute values Has extremely wide application arena and has the following advantages Applicable to all type of heads i.e. MIG-Ferrite, inductive, MR, GMR etc. Immune from magnetic medium problem Usable in non uniform magnetized media 硬式磁碟機讀寫頭飛行高度量測技術 白光干涉術（white light interferometry） 必須要使用透光的碟片以及滑行體（slider） 可經由觀察顯現的明暗條紋來判斷滑行體與碟片之間的距離 以白光干涉術量測的極限在商品化的產品是100nm至125nm左右 目前的硬碟機磁頭飛行高度大約為20nm 雷射都普勒干涉儀量測硬式磁碟機讀寫頭飛行高度 雷射都普勒干涉儀以聲光調變(acousto-optical modulation)的光束，打在振動的反射面上，其會被反射面產生頻率調變。此頻率調變與移動平面在與光束平行方向的速度分量成正比。 Theory of Operation 華勒士空間磁損耗（Wallace spacing loss）理論 磁頭與磁軌之間產生的磁化強度在x方向為Mx(x),令磁頭的磁場函數為Hx(x,y)且x’=vt: 同樣的在y方向為 總合的磁通量為 磁頭讀取出的電壓訊號為 以下為了簡化問題只考慮一個方向的磁通量貢獻值（例如 ），對其取傅利葉轉換則可得 Theory of Operation 對讀出的電壓值取傅利葉轉換可得 其中x, z平面選擇在讀取頭的磁極之下方。更進一步假設在此平面之下無磁場作用（沒有磁軌）。因此純量磁勢能的拉普拉斯方程式為 對 取傅利葉轉換可得 令 可得磁頭磁場的一般性空間相關性傅利葉方程式 將上式代入 磁頭讀取電壓方程式而得 Theory of Operation 將上式對於整個實體磁軌的寬度與深度做積分，可以當作每個磁軌i的磁場總和。可以將共同的參數 提出，而y0則是磁介質表面的y座標值。 yi是指第i個磁軌到磁介質表面的內部距離。現在我們偵測讀回訊號e(x’)的第一個共振頻率（k1=2π/λ1），以及第三個共振頻率（k1=6π/λ1）的大小。我們可以寫出下式: 在MAGNUS系統中這個共振頻的比例以如下的方式處理： 現在我們將 代入上式，則上式變為 不需考慮磁頭磁碟之頻率轉移函數 Theory of Operation 令磁頭讀取同一軌，改變其飛行高度為y0+△y可以得到敏感度S S=4πK/λ1 選擇第一及第三基頻而不選擇偶數項倍頻的原因 高頻鎖相放大的特性 產生方波較正弦波為易 僅具奇數項基頻 可以利用磁訊號的擷取以及探討第一及第三基頻訊號的比值，得到相對變動的磁訊號大小與飛行高度的關係。惟此法必須確定所得訊號中之某一點為訊號基準點，而所有其他高度的資料均可經由與此基準訊號