高能束流改性技术.pptVIP

第十章 气相沉积技术 现代表面技术 Lecture 10 气相沉积技术 一、本课的基本要求 掌握离子注入的基本原理及应用。了解激光表面合金化，电子束表面改性。 二、本课的重点、难点： 重点：离子注入的基本原理及应用。 难点：激光相变硬化，激光表面合金化。 * * 第十一章 高能束表面改性技术 10.1 常用工业激光器及激光加工系统…...2 10.1.1 常用激光器…………………………2 10.1.2 导光系统和加工机床………………5 10.1.3 激光加工的主要技术参数…………7 10.2 激光表面改性技术…………............12 10.3 离子束表面改性技术……………….17 10.3.1 离子注入的基本特点……………..18 10.3.2 离子注入在机械工业中的应用…..20 附录1 快速轴流型CO2激光器……………23 附录2 横流型CO2激光器…………...........24 附录3 激光熔覆方法………………………25 附录4 熔覆层厚度和宽度与工艺参数..... 26 附录5 基材表面激光熔覆合金工艺参数.. .27 * * ☆由直流高压放电激发CO2气体,高能态的粒子向低能级跃迁时发射光子,经谐振腔放大后,输出J束 其波长为10.6μm,属于中红外线范围 ◇缺点是输出功率较小,50~70W/m,随时间的延长其逐渐下降 CO2气体在谐振腔内不流动,结构简单,维护方便 10.1 常用工业激光器及激光加工系统 激光是一种具有极高亮度/单色性和方向性的强光源,其能量密度达1012~1013W/m2 ◇在较远的的传输过程中,光束的能量不会受到较大的消耗 以下简记为J 二氧化碳J器 10.1.1 常用激光器 主要由放电系统/循环气体系统和光学谐振腔构成 掺钕钇铝石榴石YAG 准分子J器 光束发散角小于一到几个毫弧度 ☆按放电方式不同分为三类 1)CO2气体J器 ①封离型J器 ②快速轴流型 J器中气流方向/电场方向和J束输出方向三者一致 ◇其电光效率高(达26%),功率密度高,稳定性好 常用于J切割和焊接 ③横流型 J器中气流方向垂直于J束输出方向 ◇其输出功率高(10kW/m ),设备体积较小 常用于JB改性处理 谐振腔每米长度的输出 因其很难聚焦到直径很小的光斑而不用于切割和焊接 * * ◇聚光腔将泵浦源辐射的光能有效/均匀地会聚到工作物质上,产生高功率J 10.1.1 常用激光器(续1) 图:YAG固体J器原理示意图 高压充电电路 聚光腔 工作物质 触发电路 部分反射镜 脉冲氖灯 全反射镜 激光束 储能电容 主要由工作物质/泵浦源/聚光腔/电气部分构成 ◇工作物质为掺钕钇铝石榴石,波长为1.06μm 2) YAG固体J器 与M的耦合效率高,加工性能好 ◇泵浦源常使用脉冲氖灯,为工作物质的粒子数反转提供光能 指处于高能态的粒子数大于基态的粒子数 整个结构紧凑/重量轻/使用简便可靠/维修要求较低 * * ③重复性好,波长可调谐运转 能方便地将一束J传输给多工位或者远距离工位,便于实现J加工柔性化 通过专门技术可获得短脉冲和超短脉冲,从而其加工范围比CO2 J大 ☆用途:J切割/焊接/打孔/B处理和微细加工 10.1.1 常用激光器(续2) ☆YAG固体J器的特点 ①能够和光纤耦合 ②能对脉冲输出进行调节 2) YAG固体J器 ☆进展:近年来采用二极管作为泵浦源的固体J器发展迅速 其最大峰值功率可达几十kW,平均脉冲功率可达数kW,单棒连续YAG J器的最高功率为600W ③所获输出功率范围宽 因其具有转换效率高/体积小/运行成本低/寿命长和维护简单等优点 3)准分子J器 指在激发态能够暂时结合成不稳定分子,而在基态又迅速离解成原子的缔合物,亦称受激准分子 ☆特点 ②单光子能量高,达7.9eV ①输出波长短,为193~351nm;约为YAGJ的1/5, CO2 J的1/50 可以进行冷加工 即直接切断分子之间的化学键,不需要通过光热效应获得热能来实现加工 准分子J为紫外超短脉冲J ☆用途:脉冲J沉积和微细加工 ◇缺点:工作气体有毒/成本高,输出功率较小 * * 由一系列反射镜和聚焦镜组成 ◇通过控制透镜的曲率半径来调整光斑直径 10.1.2 导光系统和加工机床 将J束从J器的输出窗口传送到待加工零件B,并调节光斑尺寸和形状 ☆导光系统类