功率超声波电源频率跟踪系统设计.pdfVIP

本文引用格式：钱俊．功率超声波电源频率跟踪系统设计 [J]．新型工业化，2014，4（8）：59-65. DIO：10.3969/j.issn.2095-6649.2014.8.09 功率超声波电源频率跟踪系统设计 钱俊 （中国科学院苏州生物医学工程技术研究所，江苏苏州，215163） 摘　要：针对压电换能器谐振频率漂移的问题，讨论了一种基于电流有效值、相位差复合反馈的功率 超声波电源频率跟踪系统的设计。根据压电换能器的电路模型，分析了电流有效值以及相位差与超声波电 源工作频率间的关系；确定利用电流真有效值和相位差双参数进行反馈控制；并讨论了系统各部分的具体 设计。实际的频率跟踪实验表明，该频率跟踪系统具有较好的稳定性和精度，跟踪时间最长不超过70ms， 频率调整分辨率0.233Hz，满足了压电换能器频率跟踪的要求。 关键字：超声波电源；频率跟踪；直接数字频率合成 Design of a Frequency Tracking System for Power Ultrasonic Generator QianJun (Suzhou Institute of Biomedical Engineering and Technology, CAS, Suzhou 215163, China) Abstract ：Inordertosolvetheproblemofresonantfrequencydriftingofapiezoelectrictransducer, thedesignofafrequencytrackingsystemforpowerultrasonicgeneratorbasedonthecurrentRMS andthephasedifferencefeedbackwasproposed.Accordingtotheelectricalcircuitmoduleofthe piezoelectrictransducer,howthecurrentRMSandthephasedifferencedependonthefrequencyof anultrasonicgeneratorwasanalyzed.ThecurrentTRMSandthephasedifferencewerechosenasthe twofeedbackparametersforthefrequencytrackingsystem.Thecorrespondingcontrollingmethodand hardwareweredesigned.Resultobtainedfromarealultrasonicgeneratorusingthisdesignedfrequency trackingsystemindicatesthatthisfrequencytrackingsystemhasimprovementperformanceinboth systemstabilityandtrackingaccuracy.Thetrackingtimeislessthan70ms,andthefrequencyadjust resolutionis0.233Hz. Key words ：ultrasonicgenerator;frequencytracking;directdigitalsynthesize. 0　引言 功率超声波电源是各类功率超声设备中的关键部件，广泛应用于超声清洗、超声焊接、超 声加工、超声马达等许多领域[1-3]。超声波电源输出交流电激励压电换能器，产生超声波。压电 换能器具有固有谐振频率，当激励频率等于谐振频率时，它有最大功率输出。当温度、刚度等 因素变化时，压电换能器谐振频率会发生漂移。为了稳定地驱动换能器，超声波电源的激励频 究 研 与 计 设 率要能够随换能器谐振频率的变化做出相应调整，即具有频率跟踪功能。 基于相位差反馈的模拟锁相环技术是目前使用较为广泛的一种方法。这种方法精度高，但 基金项目：中国科学