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第 卷 第 期 材 料 工 程 Ｖｏｌ．４３ Ｎｏ．１２
４３ １２
ＪｏｕｒｎａｌｏｆＭａｔｅｒｉａｌｓＥｎｉｎｅｅｒｉｎ
年 月 第 页 ｇ ｇ Ｄｅｃ．２０１５ ．８９－９４
２０１５ １２ ８９－９４ ｐｐ
取向硅钢表面氧化层的结构
及其对渗氮的影响
ＳｔｒｕｃｔｕｒｅｏｆＳｕｒｆａｃｅＯｘｉｄｅＬａｅｒａｎｄＥｆｆｅｃｔ
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ｏｎＮｉｔｒｉｄｉｎ ｏｆＧｒａｉｎｏｒｉｅｎｔｅｄＳｉｌｉｃｏｎＳｔｅｅｌ
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严国春 ，何承绪 ，孟 利 ，马 光 ，吴细毛
（ 北京科技大学 材料科学与工程学院，北京 ；
１ １０００８３
２国家智能电网研究院 电工新材料及微电子研究所，北京 １０２２１１；
３辽宁省电力有限公司 电力科学研究院，沈阳 １１０００６）
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Ｅｎｉｎｅｅｒｉｎ ＮｅｗＭａｔｅｒｉａｌｓａｎｄＭｉｃｒｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓＳｔａｔｅＧｒｉｄＳｍａｒｔＧｒｉｄ
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ＲｅｓｅａｒｃｈＩｎｓｔｉｔｕｔｅＢｅｉｉｎ １０２２
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