压力容器的氦质谱检漏方法.pdf

化工装备 技术应用与发展 压力容器的氦质谱检漏方法 安丰华 韩滔 陈丽萍 （锦西化工机械（集团）有限责任公司，葫芦岛 125001） 摘 要：随着压力容器出口产品的增加及各制造企业对产品质量的重视，氦质谱检漏方法在我国 的压力容器制造业中的应用也逐年递增。本文简述了内部加压的氦质谱检漏方法的工艺过程及工作原理 以及操作过程中应注意的几个问题。 关键词：内部加压法 氦质谱检漏仪 检测 判定 式中：R为离子运动轨道半径 （cm） 前言 　　　H为磁感应强度 （T） 随着压力容器出口产品的增加及各制造企业 M/Z为离子质量与其电荷数之比 对产品质量的重视，氦质谱检漏方法在我国的压 U为加速电压（V） 力容器制造业中的应用也逐年递增。氦质谱检漏 由上式可知，当R、H为定值时，改变加速电 方法 （以下简称氦检）以其高灵敏度和准确性而 压可以使不同质量的离子通过接收缝接收检测。 通常应用于整体防漏等级较高的压力容器上。 在仪器分析器的某一特定位置上设置收集极，就 氦检方法基本上可分为用氦气内部加压法和 可以把氦离子从产生的离子残余物中隔离出来并 设备内部抽真空外部施氦这两种，由于后者需将 转换为仪表显示的比率——从质谱检漏仪吸入的 设备完全抽成真空状态,往往会增加试验用设备 氦部分的压力函数。而作为探索气，氦气在空气 （如高、低压真空泵、真空阀等）和设备工装 （如 及真空系统中的含量甚微，在空气中仅占二十万 外压加强圈）而使造价提高，所以该方法通常用 分之一，这样仪器本底噪声小，同时氦的质量小， 于容积小而厚壁的设备；对于大多数压力容器而 仅大于氢，易于通过漏孔，具有较高的扩散速度， 言，通常优先选用前一种方法。 即使是微小的漏量，也很容易反应出来。氦气为 1试验原理 惰性气体，不会与被检设备的各种材料发生反应， 质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦做探索 不易被吸附且使用安全。 气体而制成的仪器。 2工艺过程 试验时当其从漏孔中泄出后，随同其它气 氦检应在设备施工和其它检验均已完成后进 体一起被吸入质谱检漏仪中，质谱检漏仪内的 行。试验前设备表面及内部须清洁、干燥，否则 灯丝发射出的电子把分子电离，正离子在加速 将会影响试验结果以至造成错误的判断。 场的作用下做加速运动，形成离子束，当离子 本文就内部加压氦检方法的工艺过程做如下 束射入与它