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ICS 71.100.20
G 86
团 体 标 准
T/CCGA 30004—2019
电子级八氟环丁烷
Electronic grade perfluorocyclobutane
(征求意见稿)
2019-xx-xx 发布 2019-xx-xx 实施
中国工业气体工业协会 发 布
T/CCGA 30004—2019
目 次
前言 II
1 范围 1
2 规范性引用文件 1
3 技术要求 1
4 试验方法 2
5 标志、包装、贮运及安全 4
I
T/CCGA 30004—2019
前 言
本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
本标准由中国工业气体工业协会提出并归口。
本标准起草单位:xxxxxx。
本标准主要起草人:xxx、xxx、xxx。
II
T/CCGA 30004—2019
电子级八氟环丁烷
1 范围
本标准规定了电子级八氟环丁烷产品的分类和型号,技术要求,试验方法,检验规则,标志、包装、
运输、贮存等。
本标准适用于工业八氟环丁烷通过吸附纯化、精馏提纯生产的电子级八氟环丁烷产品。该产品是电
子行业蚀刻气体。
分子式:C F 。
4 8
相对分子量:200.031(按2005年国际相对原子质量)。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅所注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB 190 危险货物包装标志
GB/T 3723 工业用化学产品采样安全通则
GB/T 5099 钢质无缝气瓶
GB/T 6678 化工产品采样总则
GB/T 6680 液体化工产品采样通则
GB/T 6681 气体化工产品采样通则
GB/T 7144 气瓶颜色标志
GB/T 9722 化学试剂 气相色谱法通则
GB/T 11640 铝合金无缝气瓶
GB/T 13004 钢质无缝气瓶定期检验与评定
GB/T 14193 液化气体气瓶充装规定
GB/T 14601-2009 电子工业用气体 氨
TSG R0006 气瓶安全技术监察规程
3 技术要求
电子级八氟环丁烷产品的质量应符合表1的要求。
表1 电子级八氟环丁烷产品技术指标
项目 电子级八氟环丁烷
八氟环丁烷 (C F )纯度(体积分数)/10-2 ≥ 99.999 99.9995
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