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ICS 71.100.20
G 86
团 体 标 准
T/CCGA 30003—2019
超纯三氟化氮
Ultra pure nitrogen trifluoride
（征求意见稿）
2019 -xx- xx 发布 2019 - xx - xx 实施
中国工业气体工业协会 发 布
T/CCGA 30003—2019
目 次
前言 III
1 范围 1
2 规范性引用文件 1
3 技术要求 1
4 试验方法 1
5 包装、标志、贮运及安全 4
6 安全警示 4
附录A （资料性附录） 切割气路流程示意图 6
附录B （规范性附录） 酸度（以HF 计）的测定 7
参考文献 9
I
T/CCGA 30003—2019
前 言
本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
本标准由中国工业气体工业协会提出并归口。
本标准起草单位：xxxxxxxxx、xxxxxxxx。
本标准主要起草人：xxx、xxx。
II
T/CCGA 30003—2019
超纯三氟化氮
1 范围
本标准规定了瓶装超纯三氟化氮的技术要求、试验方法、检验规则及包装、标志、运输、储存
和安全。
本标准适用于超纯三氟化氮。它主要用作电子工业中等离子体工艺蚀刻剂和化学气相沉积的清洗剂。
分子式：NF 。
3
分子量：71.001 9(按2001年国际相对原子量)。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。
凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
GB 190 危险货物包装标志
GB/T 5099 钢质无缝气瓶
GB/T 5832.3 气体中微量水分的测定 第3部分 光腔衰荡光谱法
GB/T 6681 气体化工产品采样通则
GB/T 7144 气瓶颜色标志
GB/T 14194 压缩气体充装规定
TSG R0006 气瓶安全技术监察规程
3 技术要求
超纯三氟化氮应符合表1的要求。
表1 技术指标
项目 指标
-2
三氟化氮(NF) ，10 （体积分数）
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