调节力对偏心调节机构中透镜面形的影响.pdf

第 卷 第 期 中 国 激 光 ， ４１ ７ Ｖｏｌ．４１ Ｎｏ．７ 　 　 　 　 年 月 ， ２０１４ ７ 犑狌犾 ２０１４ 犆犎犐犖犈犛犈犑犗犝犚犖犃犔犗犉犔犃犛犈犚犛 狔 调节力对偏心调节机构中透镜面形的影响 张德福 李显凌 　 （中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室，吉林 长春 １３００３３） 摘要 针对深紫外光刻投影物镜的像质补偿要求，对偏心调节时的透镜进行受力分析，基于柔度矩阵法设计了一 　 种柔性多弹片透镜支撑结构，研究了透镜面形随调节力的变化规律，采用有限元法分析了调节力与透镜面形峰谷 （ ）值、均方根（ ）值和 多项式系数之间的关系。计算结果表明：调节时通过降低调节力的大 ＰＶ ＲＭＳ ＦｒｉｎｅＺｅｒｎｉｋｅ ｇ 小，可以控制面形劣化程度。采用具有吸收调节力功能的柔性支撑结构后，在 ５０Ｎ的驱动力偏心调节时，透镜上 表面面形 值和 值分别为 和 ，透镜下表面面形 值和 值分别为 和 ＰＶ ＲＭＳ ２．７０４ｎｍ ０．５２８ｎｍ ＰＶ ＲＭＳ ２．９８４ｎｍ 。透镜面形的 值、 值及 多项式系数随调节力线性变化，但是调节力不会改变各 ０．５７１ｎｍ ＰＶ ＲＭＳ ＦｒｉｎｅＺｅｒｎｉｋｅ ｇ 种像差的性质，它引入的透镜像差主要为像散。 关键词 光学器件；深紫外光刻；投影物镜；像差补偿；偏心调节机构；调节力；面形 　 中图分类号 文献标识码 ： ／ ＴＨ７４ Ａ 犱狅犻１０．３７８８犆犑犔２０１４４１．０７１６００４ 　 　　　 　 　　　 犈犳犳犲犮狋狅犳犃犱狌狊狋犻狀 犉狅狉犮犲狅狀犛狌狉犳犪犮犲犉犻狌狉犲狅犳犔犲狀狊犻狀犈犮犮犲狀狋狉犻犮 犼 犵 犵 犃犱狌狊狋犻狀 犕犲犮犺犪狀犻狊犿 犼 犵 犣犺犪狀 犇犲犳狌 犔犻犡犻犪狀犾犻狀 犵 　 犵 （ ， ， ， 犛狋犪狋犲犓犲 犔犪犫狅狉犪狋狅狉 狅犃 犾犻犲犱犗狋犻犮狊 犆犺犪狀犮犺狌狀犐狀狊狋犻狋狌狋犲狅犗狋犻犮狊 犉犻狀犲犕犲犮犺犪狀犻犮狊犪狀犱犘犺狊犻犮狊 狔 狔 犳 狆狆 狆 犵 犳 狆 狔