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第4章 波动光学 第20讲 薄膜干涉 一、薄膜干涉的光程差 二、均匀薄膜等倾干涉 三、劈形薄膜等厚干涉 P L 一 薄膜干涉的光程差 D C 3 4 E 5 A 1 B 2 反射光的光程差 加 强 减 弱 P L D C 3 4 E 5 A 1 B 2 透射光的光程差 注意：透射光和反射光干涉具有互 补 性 ，符合能量守恒定律. 根据具体情况而定 P L D C 3 4 E 5 A 1 B 2 当光线垂直入射时 当 时 当 时 二、均匀薄膜等倾干涉 玻璃 氟化镁为增透膜 增透膜和增反膜 利用薄膜干涉可以提高光学器件的透光率 . 例 1 为了增加透射率 , 求氟化镁膜的最小厚度. 已知空气 , 氟化镁 , 2 3 解 减弱 取 则 （增强） S M 劈尖角 明纹 暗纹 三、劈形薄膜等厚干涉 （明纹） （暗纹） 劈尖干涉 讨论 1）劈尖 为暗纹. 相邻明纹（或暗纹）所对应的薄膜厚度之差 相邻明纹（或暗纹）所对应的薄膜厚度之差相同。 e k ek+1 ?e ? 明纹 暗纹 2）相邻明纹（暗纹）间的厚度差 3）相邻明纹（或暗纹）间距 l 每一条 纹对应劈尖 内的一个厚 度，当此厚 度位置改变 时，对应的 条纹随之移 动. 4 ）干涉条纹的移动 例题 在半导体元件生产中，为了测定硅片上SiO2薄膜的厚度，将该膜的一端腐蚀成劈尖状，已知SiO2 的折射率n =1.46，用波长? =5893埃的钠光照射后，观察到劈尖上出现9条暗纹，且第9条在劈尖斜坡上端点M处，Si的折射率为3.42。试求SiO2薄膜的厚度。 Si SiO2 O M 解：由暗纹条件 知,第9条暗纹对应于k=8,代入上式得 所以SiO2薄膜的厚度为1.72 ?m。 劈尖干涉的应用 1）测薄膜的厚度 空气 2）检验光学元件表面的平整度 3）测细丝的直径 例题 为了测量金属细丝的直径，把金属丝夹在两块平玻璃之间，形成劈尖，如图所示，如用单色光垂直照射 ，就得到等厚干涉条纹。测出干涉条纹的间距，就可以算出金属丝的直径。某次的测量结果为：单色光的波长? =589.3nm金属丝与劈尖顶点间的距离L=28.880mm，30条明纹间的距离为4.295mm,求金属丝的直径D？ L d 解: 相邻两条明纹间的间距 其间空气层的厚度相差为?/2于是 其中?为劈间尖的交角，因为? 很小，所以 代入数据得 三 牛顿环 由一块平板玻璃和一平凸透镜组成 光程差 牛顿环实验装置 牛顿环干涉图样 显微镜 S L M半透半反镜 T R 光程差 明纹 暗纹 r e 暗环半径 明环半径 3）应用例子:可以用来测量光波波长，用于检测透镜质量，曲率半径等. 1）从反射光中观测，中心点是暗点还是亮点？从透射光中观测，中心点是暗点还是亮点？ 2）属于等厚干涉，条纹间距不等，为什么？ 工 件 标 准 件 暗环半径 明环半径 讨论