IC参数自动测试系统关键技术分析.pdfVIP

摘要 摘 要 在集成电路（Integrated Circuit ，IC ）产业中，芯片测试贯穿IC 设计、生产、 封装和应用的全过程。IC 参数测试是芯片测试的一项重要内容，是确保芯片满足 设计要求以及工程应用的必要手段。高性能和高可靠的 IC 参数自动测试系统 （Automatic Test System，ATS）是实现IC 参数测试必不可少的工具。 论文以IC 参数测试原理和方法为切入点，构建了基于模块化和自定义总线概 念的IC 参数自动测试系统框架。在深入分析各个功能模块性能参数的基础上，对 其中的关键功能模块：时间测量单元（Time Measure Unit ，TMU ）、任意波形发生 器（Any Wave Generator ，AWG ）、波形数字化仪（Digitizer ，DIG ）、精密测量单 元（Precision Measure Unit ，PMU ）以及系统通信总线进行了探索性研究和设计工