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无尘室污染控制的基础知识 无尘 室是产品在生产过程中环境被控制的房间,在无尘室中 空气的尘粒被集中控制在一定标准范围内,并消除微米级的 空气污染。这些尘粒通常由人体产生,加工过程中产生,设 备装置产生,必须不断从空气中除去它们。尘粒除去需要达 到什么水平需依靠标准要求,美国联邦标准 209E 现在被广 泛应用,该标准规定了空气洁净度的等级,洁净室或洁净区 域空气粒子数量的多少,科学严谨的标准有利用防止产品污 染。 控制污染唯一的方法是控制整个环境,包括室内之温湿度、 洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明 等需要控制,尘粒来源需要控制或消除。只要可能,清洁室 内的工作要多于清洁过滤器,无尘室的设计和制造使用时需 要科学的设计方案和方法,在电子学,药学,生物制药,医 学医疗仪器工业和其它的关键制造业的环境生产中已被证 实 . 在比较无尘室和一栋典型的办公大楼的不同时只需抓住一 个核心“空气粒子数监控”,典型办公大楼空气每立方英尺 包含 500,000---1,000,000个 粒子 (直径 0.5微米以上 ; 100级无尘室设计空气粒子允许数不超过每立方英尺 100 个 粒子 (直径 0.5微米以上 ; 1000 和 10,000无尘室分别被 设计限制粒子为 1000 和 10,000每立方英尺。 一根人类的头发直径约为 75-100 个微米,小于头发 200倍 的粒子(0.5微米在无尘室却能引起重要的灾难 . ,污染能 导致昂贵的停工时间而且增加制造成本,事实上,十亿美元 的美国航空暨太空总署哈柏太空望远被损坏就是因为小于 0.5微米的粒子污染造成。 无尘室一经建造 , 在维护和清洁上 也必须有同样高的标准 . 本手册专门准备给专业清洁人士 提供无尘室如何清洁的基础知识。 污染是什么 ? 污染是物件表面被污染物质污染的过程或行为,有两种广 义范畴的表面污染 :膜状类型和微粒子 , 这些污染物能在小 型电路上产生 凶手缺点 , 只有 10nm(奈米 的膜装污染 物能大幅减少晶圆或芯片涂料的附着 . 一般广泛可接受的 污染物的大小是 0.5微米的粒子 , 现在一些微电子工业控制 目标是更小的粒子。 部分污染物明细可参见下面污染的来源 , 任何这些尘粒可 能是损害一个线路的来源, 我们的目标是阻止这些污染物 进入无尘环境 , 它需要每个进入无尘室的人员承诺避免发 生,专业清洁人员需知道污染控制的重要性 , 无论谁进入无 尘室或在无尘室清洁时都需要严格执行这样要求,不可接受 任何妥协。 污染的来源 多数污染物已经证实主要有以下将要提到的五个基本来源, 设备、人、工具、液体和制造的产品都可能产生污染,重新 回顾这些因素将有助于我们更好理解污染的产生根源。 1、设备 墙壁,地板和天花板 油漆和涂料 建筑材料 (粉尘颗粒 , 可见灰尘 空气调节装置残片 房间空气和水蒸气 溢出物和泄漏物 2、人员产生 皮肤产生的皮屑和油脂 化妆品和香水 唾沫 衣服碎片 (棉绒、 纤维等 头发 3、工具产生 摩擦产生物和包装产生尘粒 润滑物和喷射物 机械震动 扫帚,拖把和除尘器 4、流体物 空气漂浮物 细菌 , 有机物和水蒸气 地板抛光剂和涂料 化学清洁药品 增塑剂 除离子水 5. 产品产生 硅片 石英碎片 无尘室材料产生碎片 铝制品产生残存物 污染控制的关键要素 综合考虑多方面因素,有利于整个污染控制计划做得更好, 当我们提供一份高效污染控制项目时,有以下项目需要考虑 到。 HEPA (高效空气过滤器 HEPA 在污染控制的维护上是非常重要的,对于直径大于 0.3um 的尘粒的过滤效率可以达到 99.97% 无尘室气流装置设计 无尘室设计成让气流以一个方向流动(或是垂直的或是水平 的,并以一般是 0.3米 /秒 /至 0.5米 /秒的均速流过整个 空间,这种称为单向流洁净室,气流有越多的障碍就会产生 更多的紊流,紊流能产生尘粒的移动。 过滤器 除了 HEPA 过滤器广泛地用于无尘室外,还有很多其它类型 的过滤器用于从气体和液体中除去尘粒,这些过滤器都是提 供高效率污染控制的基础。 清洁 在污染控制中清洁是最基本的要素之一,必须下决心制定详 细的洁净室维护和清洁计划,无尘室清洁及操作程序须文件 化,且无尘室管理条例也需与合作的供应商达成统一,在进 行无尘室清洁项目之前有很多问题需要清洁管理人员事先 考虑。 清洁什么? 清洁的标准是怎样的? 在无尘室中需要用到什么样的清洁物料? 什么时候清洁无尘室? 无尘室的清洁频繁? 无尘室工衣 在无尘室中不同位置间移动也需要无尘工衣穿着发生变化, 知道无尘室管理的工衣需求是非常重要的,手套、口罩、头 罩在几乎每个无尘室环境中都是标准着装,工作服用得越来 越广泛,连体服在很多无尘环境中也被要求用到。 洁净室