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线阵CCD对表面粗糙度的在线测量;目录;一、引言;2、表面粗糙度的表示方法; 传统的表面粗糙度测量的方法主要为触针法,该方法具有测量直观、高精度、高可靠性、多参数等优点,但鉴于其接触式的测量原理,会损坏被测表面,无法检测微小的表面缺陷,并因触针磨损及测量速度的限制,不宜在线实时检测。;二、表面粗糙度测量原理; 理论和实践都证明,散射光分布曲线的形状与表面粗糙度有关。以光散射理论为基础,利用光散射特征值法测量表面粗糙度。其原理是由于物体表面不是理想的光滑表面,所以当一束光照射到物体表面上时,除一部分光被反射外,另一部分光被散射,形成一束离散光。研究表明,由被测物体表面反射、散射的离散光的强度呈高斯分布,其概率分布函数 为;式中, 为平均值; 用于描述被测表面的散射光分布情况,称为“光散射特征值”,???作为光散射法测量表面粗糙度
的数学模型。用已知表面粗糙度参数的试件作为表面粗糙度标准样块,测得对应的 值,即可建立光散射特征值和表面粗糙度 关系曲线,从而实现利用光散射特征值法测量工件表面粗糙度。;光路图;1、光源; 由于CMOS光电传感器集成度高,各光电传感元件、电路之间距离很近,相互之间的光、电、磁干扰较严重,噪声对图像质量影响很大,所以在像素同等的条件下,CCD的成像比CMOS的成像要优越一些,我们选用CCD成像器件。;四、线阵CCD的工作原理;光积分时间; 由于结构上的安排,OS端首先输出13个虚设单元信号,再输出51个暗信号,然后才连续输出S1到S2160的有效象素单元信号。第S2160信号输出后,又输出9个暗信号,再输出2个奇偶的检测信号,以后便是空驱动。空驱动数可以是任意的。;CCD驱动接口电路图;五、表面粗糙度的测量过程;六、总结;;谢谢!
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