国家标准非本征半导体材料导电类型测试方法任务落实.docVIP

PAGE PAGE 4 国家标准《非本征半导体材料导电类型测试方法》 （送审稿）编制说明 一、工作简况 1、项目背景和立项意义 导电类型是半导体材料的基本电学参数。在本征半导体中添加施主或受主物质(通常称为掺杂物)，通过施主型杂质解离向导带注入电子或受主型杂质俘获价带电子产生的自由载流子，使本征半导体产生额外的电导，成为非本征半导体。非本征半导体由于添加施主型杂质或受主型杂质分别成为N型半导体或P型半导体。在半导体材料的生产过程中，非本征半导体导电类型的测定对半导体设备的制造及研究和发展具有重要的意义。 随着半导体材料产业的飞速发展，非本征半导体材料导电类型测试方法近年来也在不断改进，