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第五章 典型红外检测仪器及其应用 5.1 红外辐射测量技术 1. 红外辐射测量方法分类 红外辐射测量按其测量方式分为两大类，即主动式和被动式。主动式测量是由辐射源照射被测物体，根据物体对辐射的吸收、反射、透射情况，确定物体的热特性或其他物理性质。被动式测量则是利用物体自身的红外辐射特性相对于周围环境的差异，通过测量其辐射能量，从而确定物体的物理性能。 此外，红外辐射测量还有稳态测量和非稳态测量之分。如在探侧工件的缺陷时，常需加热工件，热流在缺陷部位产生热量堆积，而在其表面部位产生过热点。有两种方式测量表面过热点的温差异常，一种方式是在工件表面和内部达到热平衡后进行测量，称为稳态测量；另一种方式是让工件表面和内部保持一定的温度梯度，使产生热传导．称非稳态测量。实践表明，对于较小的缺陷，采用非稳态测量比较合适，但在诊断存在异常温度的潜伏热源方面．如对电子仪器元器件的检查、医学诊断和地质探矿等领域，稳态测量法得到了广泛的应用。 红外辐射测量的特点 红外辐射测量技术有许多优点，主要是： （1）非接触测量。测量过程中不与被浏物体接触，不破坏目标的温度场，测量结果不受目标与探针之间接触状况的影响。 (2)测量精度高。测量的标准偏差可小于百分之一，尤其是对温度的测量，在最佳条件下甚至能分辨0.1℃的温差。 (3)空间分辨串高。用红外显微镜可测量几微米的目标，因此能分辨出集成电路上的单个元件。