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实验六 差动变面积式电容传感器的静态及动态特性
一、任务与目的
了解差动变面积式电容传感器的原理及其特性。
二、实验仪器
所需单元及部件：电容传感器、电压放大器、低通滤波器、Ｆ／V表
有关旋钮的初始位置：电压放大器增益旋钮置于中间，Ｆ／V表置于Ｖ表２Ｖ档，测微头调整为10mm（高度可根据实际情况略作改动），使电容器动片处在电容极板的中间位置。测微头主尺（1mm）;副尺(0.01mm),副尺转动一圈是0.5mm,副尺上一共有50个格，每格表示0.01mm。
三、原理（条件）
电容式传感器有多种形式，本仪器中差动变面积式。传感器由两组定片和一组动片组成。当安装于震动台上的动片上、下改变位置，与两组静片之间的重叠面积发生变化，极间电容也发生相应变化，成为差动电容。如将上层定片与动片形成的电容定为Cx1，下层定片与动片形成的电容为Cx2，当将Cx1和Cx2接入桥路作为相邻两臂时，桥路的输出电压与电容量的变化有关，即与振动台的位移有关。
四、内容与步骤
按图2接线。
信号转换过程：电容－电压－电压放大－直流电压－数字显示
图2
F／V表打到20V，调节电容变换器（电容放大器）增益，使输出为零。
转动测微头,每次0.1mm，（可根据实际情况决定每次转动测微头的位移数）记下此时测微头的读数及电压表的读数，直至电容动片与上（或下）静片复盖面积最大为止。
计算系统灵敏度Ｓ。Ｓ＝ΔＶ／ΔＸ（式中ΔＶ为电压变化，ΔＸ为相应的梁端位移变化），并作出Ｖ－Ｘ关系曲线。（画出线性特性较好的区域，并计算这段区域的灵敏度值）
五、数据处理（现象分析）
（1）转动测微头,每次0.1mm，记下测微头的读数及电压表的读数：
X(mm)
12.00
12.50
13
13.50
14
14.50
15
15.50
16
16.50
V(mv)
0
-0.01
-0.02
-0.03
-0.04
-0.05
-0.06
-0.08
-0.09
-0.10
退回测微头至初始位置。并开始以相反方向旋动。同上法，记下X(mm)及V(mv)值。
X(mm)
11.5
11
10.5
10
9.5
9
8.5
8
7.5
7
V(mv)
0.02
0.04
0.06
0.07
0.09
0.11
0.12
0.14
0.15
0.16
（2）计算系统灵敏度Ｓ。Ｓ＝ΔＶ／ΔＸ（式中ΔＶ为电压变化，ΔＸ为相应的梁端位移变化），并作出Ｖ－Ｘ关系曲线。（画出线性特性较好的区域，并计算这段区域的灵敏度值）
图标如下，发现整条线性度都比较好，故选择所有数据区域进行计算
计算系统灵敏度Ｓ=0.027V/mm
六、结论
实验中可以发现当差动电容的动片位置上下移动时，与两组静片之间的重叠面积发生改变，从而引起极间电容发生改变使电路输出变化，实现传感功能，通过实验加深了对差动变面积式电容传感器的工作原理的理解，并且通过测得的实验数据进行分析整理，计算得到系统灵敏度为Ｓ=0.027V/mm
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