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微细超精密机械加工系统原理及系统设计 ——快速伺服刀架（Fast Tool Servo, FTS） 第1节 背景介绍 微结构功能表面 微结构功能表面的定义：是指具有特定功能微小拓扑形状的表面，其特征尺寸一般为微米级。 微结构功能表面的意义：表面微结构使得元件具有某些特定的性能，如粘附性、摩擦性、润滑性、耐磨损性、特定的光学性能。 微结构功能表面的需求：产品的小型化、集成化、轻量化；微传感器、微电子元件、微光学元件。 典型的微结构功能表面加工方法 回转对称微结构功能表面 超精密车削加工可以实现！ 菲涅尔透镜 正弦波表面 沟槽和浮雕微结构功能表面 超精密铣削加工可以实现！ 重复性的棱镜阵列微结构功能表面 飞刀切削加工可以实现！ 非回转对称或空间波长较小的回转对称微结构功能表面 超精密车削+快刀伺服刀架！ 微结构功能表面的分解： 所加工的表面看成是两部分的叠加：Z=Zj+Zw Zj是作为基面的回转对称面，只与离回转对称轴的距离r有关； Zw是基面上的微结构，可以是r的函数，或者主轴转角θ的函数，也可以同时是r和θ的函数。即 Zw=f(r,θ) 第2节 快速伺服刀架加工原理 刀具响应频率的计算 自由曲面光学零件的超精密车削技术： 慢刀伺服（STS） 快刀伺服（FTS） 对非回转对称表面，以及空间波长较小的回转对称微结构功能表面来说，如果用车削的方法加工，机床需要具有良好的高频动态响应性能及很高的分辨率，为使加工时尽量降低运动轨迹的频率，主轴及进给轴都要有良好的低速运动性能，另外机床控制系统必须具有高分辨率的数据采集功能和高速数据处理能力，并具有高次轨迹联动控制功能，因此传统机床难以满足要求。 1980s，美国LLNL实验室，大型光学金刚石车床LODTM，命名为FTS，频响660Hz，行程±1.27μm/100V，精度2.5nm，用于工件加工形状误差的补偿和刀具位置的补正； 目前，频响10KHz，行程达到1mm，非轴对称微结构加工 快速伺服刀架发展历程 机床上安装FTS作为辅助加工轴 工件随主轴旋转；刀具安装在FTS上，刀具的Z向位移与主轴的旋转及X向溜板的位移保持同步；即刀具沿Z轴方向能够严格按照端面的极坐标（r，θ）往复运动 快速伺服刀架加工原理 具有相似的加工动作和机床结构，都需要获得精确的主轴转角θ数值，都能够实现自由曲面光学零件的车削加工。 STS需要超精密三轴位置伺服联动：高编程分辨率数控系统、高分辨率传感器、加工前确定走刀路径和刀具补偿、连续切削、运动频响低、行程大 FTS独立于机床：各轴不存在联动、分辨率稍低、加工前确定面形数据文件、可能存在断续切削、运动频响高、行程小 理论上，慢刀伺服可以加工任何复杂的面形和结构，但对于面形突变的微小结构，势必要降低主轴转速至很低，从精度、效率及加工材质方面考虑，这实际上是不可取的。 快速伺服和慢刀伺服的比较 由于旋转主轴速度一般很快，因此刀架伺服机构应当具有良好的频率特性，能够随着主轴的旋转及溜板的移动完成高频微位移运动。 分辨率：纳米级 频率特性：高速、宽频带位移输出是加工微结构功能表面对FTS最重要的要求，与主轴转速相关。频率高，则响应速度快，轨迹跟踪精度高；一般1000Hz以上 行程：微结构表面幅度变化 刚度：保证加工精度 快速伺服刀架基本指标 第3节 快速伺服刀架结构设计 快速伺服刀架系统 快速伺服刀架的组成： 微进给执行机构、导向机构、控制系统 压电陶瓷：逆压电效应式：位移精度高（亚纳米）、动态特性好、频响高，广泛应用 磁致伸缩式：结构简单、行程较大；发热，目前应用不多 洛仑兹力FTS：音圈电机，技术较为成熟,应用非常广泛，最大优点是可实现毫米级的长行程、超长行程。主要缺点是响应频率太低。 麦克斯韦力FTS：新型机构，超高频响和加速度 FTS的分类 压电陶瓷FTS 在一定方向的电场作用下，压电陶瓷将产生的应变为: 式中，S为电场方向的应变值，d为压电常数，m为电致伸缩系数，E为作用电场强度。 第一项反映压电陶瓷的逆压电效应，第二项代表电致伸缩效应。 压电伸缩陶瓷的特性由压电方程决定: 式中，S3为伸缩应变，S33为弹性顺度系数，T3为作用应力，d33为压电效应常数，E3为作用电场强度。 逆压电效应式微位移机构——压电陶瓷 ①变形量与作用电场之间成线性。 ②当应力T3方向与电场作用方向相反时，压电陶瓷将被压缩。作用力大小影响伸缩量，但不改变位移的线性度。 ③有较大的位移迟滞和蠕变，响应速度快。 压电陶瓷的特性 1、迟滞现象：迟滞现象产生的原因是由于晶体在极化的过程中，电介质内部的晶粒间存在着内摩擦力，在施加电场后极化不能立即完成而存在一定的滞后。 2、蠕变（漂移）现象：蠕变是指在一定的电压下，位移达到稳定值后并不