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第十三章  其它显微分析方法 一、离子探针（IMA） 一、离子探针（IMA） 离子探针仅利用电子光学方法，把惰性气体等初级离子加速并聚集成细小的高能离子束轰击样品表面，激发和溅射二次离子，经过加速和质谱分析，分析表面成分。分析区域：1～2μm直径；＜5nm的深度， 离子探针在分析深度、采样质量、检测灵敏度、可分析元素范围和分析时间等方面，均优于电子探针。 几种表面微区成分分析技术的性能比较 离子探针结构示意图 双等离子流发生器将轰击气体电离，以12～20KV加速电压引出，通过扇形磁铁偏转后进入电磁透镜聚焦成细小的初级粒子束。 二次离子的能量非单一性，质谱分析采用双聚焦系统有１KV左右加速电压从表面引出二次离子首先进入圆筒形电容器式静电分析器，由于离子的偏转轨迹半径（ｒ＝mw2/eE）正比于粒子的动能，扇形磁铁内的均匀磁场把离子按e/m比进行分类，即可分辨出不同元素的离子 质谱分析的背景强度几乎为零，所以检测灵敏度极高。 可检测质量极限为10-19克数量级,仅相当几百个原子的存在量。 在可控的条件下，利用初级离子轰击溅射剥层，可以分析元素浓度随深度变化规律。 当初级离子束在样品表面扫描时，选择某离子讯号强度调制同步扫描阴极射线管荧光屏亮度，可显示元素面分布的图像。 二、低能电子衍射（LEED) 二、低能电子衍射（LEED) 低能电子衍射是利用10～5