4电容式传感器2003.pptVIP

* * 4.3.4 脉冲宽度调制电路 工作过程： 比较器状态2: Q＝UA＝0 ＝UB＝1 UB点高电平经R2对C2充电； E点电位UE由0逐渐增加 至UE Uf 时,触发器复位，再次翻转: Q＝UA＝1, ＝UB＝0 UE经D2快速放电,UE=0 回到状态1: R2 D1 D2 A B R1 C1 C2 U0 D Uf E + - + - Q Q R S 双稳态 触发器 A2 A1 UA UB 翻转点 再翻转 * * 4.3.4 脉冲宽度调制电路 工作过程： 状态1与2周而复始: UA 与UB 输出矩形脉冲; A、B点高电平宽度分别 取决于C1和C2的充电时间； 充电时间与C1和C2有关 当C1=C2时,两脉冲宽度相等 一个周期内UAB=UA-UB的均值为0; 当C1≠C2时,两脉冲宽度不等 UAB=UA-UB反映电容变化量 R2 D1 D2 A B R1 C1 C2 U0 D Uf E + - + - Q Q R S 双稳态 触发器 A2 A1 UA UB * * 4.3.4 脉冲宽度调制电路 平均输出电压： 充电时间: 若R1=R2, 差动电容 直流输出与被测位移成正比 UAB -U1 U1 0 t T1 T2 适用于任意的 差动电容传感器 * * 4.3.4 脉冲宽度调制电路 特点: 直流供电、直流输出; 输出电压与被测量成线性关系; 调制周期(T1+T2)对输出无影响; 由于低通滤波的作用，对矩形波形要求不高; 适用与差动变面积、变极距电容传感器. * * 4.3.5 运算放大器式测量电路 传感器电容作为反馈元件 固定电容作为输入元件 Cx C0 -K Ui U0 Ii Ix I a 输出电压与位移δ成线性关系 输出电压与δ的极性相反 K?∞、输入阻抗?∞时成立 交流输出，相敏检波 调频电路 略 * * 4.3.6 调频测量电路 传感器电容作为LC振荡回路的一部分 振荡频率： 电容变化转换成振动频率的变化 * * 4.3.6 调频测量电路 特点： 较高灵敏度, 位移分辨率达0.01μm 响应速度快：RL=1kΩ时，上升时间20us 易于与计算机通讯, 抗干扰能力强 便于遥测遥控 非线性： 用于动态范围很小的场合 f0较大时得到高的精度 * * 4.4 影响电容传感器精度的因素 电容传感器优点 高灵敏度、高精度, 分辨率可达0.001μm； 良好的动态特性(MHz级),可作高频非接触测量; 结构简单、适应性强. 电容传感器缺点 输出阻抗高、负载能量差，易受外界干扰； 寄生电容大，降低测量精度； 温度误差，影响机架精度及介电常数; 漏电阻要求高:否则与传感器电容分流… 音频范围交流电源 输出阻抗106~108Ω 寄生电容一般800pF/m 传感器电容变换10pF 采用陶瓷机架 极板石英喷镀金/银 温度系数小的介质: 空气、云母,避免液体 漏电阻与传感器容抗相当时 灵敏度降低.要求几十兆以上 * * 提高电容传感器精度的措施 1) 缩短引线或线路集成化,减小寄生电容 2) 减小边缘效应,改善灵敏度与线性度 + - 等位环3 + - 电极1 电极2 * * 提高电容传感器精度的措施 3) 驱动电缆法 (双层屏蔽技术) 传感器与前置放大器 用双层屏蔽线连接; 内屏蔽层与信号线间 用1:1放大器相连; 芯线与内屏蔽层成等电位,消除了两者之间的寄生电容; 外屏蔽层接大地，防止外界电场的干扰。 屏蔽层上传输的是传感器驱动信号_故此得名(10m) 1:1 + 测量 电路 外屏蔽层 内屏蔽层 芯线 传感器 - 困难:在宽频带上设计幅频=1,相频=0的放大器! 高输入阻抗 * * 运放测量电路+屏蔽 传感器一端经芯线与虚地点 ∑相连,另一端与外壳相连; 内屏蔽层接信号地; 芯线与内屏蔽层成等电位; 减小了寄生电容; 外屏蔽层接外壳,防止外界干扰. ——一种不完全的“驱动电缆法” A足够大时，有较好的精度。 4) 运算放大器法 -A Uo C Cx ∑ ～ * * 将电容传感器、转换电路、传输电缆用同一个屏蔽壳屏蔽起来，正确接地，减小寄生电容和外界干扰 C1、C2:差动电容传感器; Z1、Z2:桥臂电阻或电感； 屏蔽层接地点在Z1、Z2中间; Cp1、CP2芯线与屏蔽层间的 寄生电容，与Z1、Z2并联; Cp1、CP2影响电桥灵敏度 与初始平衡; Z远远小于Cp的容抗时，Cp 不影响电桥平衡，减小了寄生电容。 5) 整体屏蔽法 电容 C1 C2 CP1 CP2 Z1 Z2 -A Cr1 Cr2 U0 U a b Z1 Z2 变压器电桥 * * 外界干扰(电磁场)在传感器上和导线之间感应出电压并与信号一起输送至测量电路,会产生误差; 接地点不同所引起的接