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第一章 1真空度与压强的关系，粗，低，高，超高真空如何划分。托、大气压之间的关系 答：压强越低意味着单位体积中气体分子数愈少，真空度愈高，反之真空度越低则压强就越高。 粗真空：（1X105~1X102Pa）低真空（1X102~1X10-1 Pa）高真空（1X10-1~1X10-6 Pa） 超高真空（1X10-6 Pa） 1托＝1/760大气压 2为气体临界温度。气体与蒸气区别、平均自由程、余弦散射定律 答：气体临界温度：对于每种气体都有一个特定的温度．高于此温度时．气体无论如何压缩都不会液化，这个温度称为该气体的临界温度。 气体与蒸气区别：温度高于临界温度的气态物质称气体，低于临界温度的气态物质称为蒸气 平均自由程：每个分子在连续两次碰撞之间的路程称为“自由程”，这是一个描述气体性质的微观参量，其统计平均值称为“平均自由程”。 余弦散射定律：碰撞于固体表面的分子，它们飞离表面的方向与原入射方向无关．并按与表面法线方向所成角度θ的余弦进行分布。 3简述旋片机械泵、扩散泵、分子泵原理及真空范围使用时是否需配前级泵 答：旋片机械泵原理：通过悬片的转动将待抽真空的容器中的气体吸入并压缩排出机械泵，通过此原理不断循环，从而使容器达到真空。 真空范围：1大气压——10-2pa 不需要使用前级泵 扩散泵：扩散泵是利用被抽气体向蒸气流扩散的现象来实现排起作用的。 真空范围：1——10-6Pa 需要前级泵 分子泵：靠高速转动的转子碰撞气体分子并把它驱向排气口，由前级泵抽走，而使被抽容器获得超高真空。 真空范围：1——10-8Pa 需要前级泵 4简述热阻、热偶、热阴极电离真空计原理及测量原理 答：热阻真空计原理：通过测量热阻丝的电阻随温度变化，建立电阻与压强的关系，间接确定压强，从而实现对真空的测量。 104 Pa——10-2Pa 热偶真空计原理：低压强下气体热传导与压强有关，用热电偶测量热丝温度，建立气体压强与热偶电动势之间的关系，从而确定真空室压强。 102 Pa——10-1Pa 热阴极电离真空计原理：电子在加速电场中获得能量，参与气体分子碰撞将发生电离，产生正离子和次级电子，正离子数正比于气体密度，即在一定温度下正比于气体压强，根据离子电流大小，来测压强。 10-1Pa——10-6Pa 5典型真空系统组成是什么？何为极限真空及抽气速率 答：典型真空系统组成：待抽空的容器(真空室)、获得真空设备(真空泵)、测量真空的器具(真空汁)以及必要的管道、阀门和其他附属设备。 极限真空：系统所能达到的最低压强。 抽气速率：在规定压强下单位时间所抽出气体的体积。 第二章 1、真空蒸发系统组成。镀膜基本过程是什么，何为蒸发温度、饱和蒸气压与温度关系、蒸发速率与何因子有关。如何减小蒸发分子碰撞几率 答：真空蒸发系统组成：1真空室2蒸发源或蒸发加热器3基板4基板加热器和测温器 镀膜基本过程：1 加热蒸发过程2 气化原子或分子在蒸发源与基片之间的输运3 蒸发原子或分子在基片表面上淀积过程 蒸发温度：物质在饱和蒸气压为10-2托时的温度，叫该物质的蒸发温度 饱和蒸气压与温度关系：物质的饱和蒸汽压随温度的上升而增大，在一定温度下，各种物质的饱和蒸汽压不相同，且具有恒定的数值。 克拉伯龙-克劳修斯方程式： 蒸发速率因子：蒸发速率除与蒸发物质的分子量，绝对温度和蒸发物质在温度T时的饱和蒸汽压外，还与材料表面清洁度有关。特别是蒸发源温度的变化对蒸发速率影响极大。 如何减小蒸发分子碰撞几率：平均自由程比源——基距大得多的情况下。 3简述点源、小平面源的蒸发特点并比较两者相对厚度分布曲线。两种点源与基板相对位置如何配置P25-27 答：点源（点蒸发源）：以相同的蒸发速率向各个方向蒸发。 小平面（小平面蒸发源）：具有方向性，遵从余弦角度分布规律 厚度曲线比较：两种源在基片上所沉淀的膜厚度，虽然很近似，但是由于蒸发源不同，在给定蒸发料，蒸发源和几班距离的情况下，平面蒸发源的最大厚度可为点蒸发源的4倍左右。 对基板位置配置：点源：为了获得均匀膜厚，点源必须配置在基板所围成的球状中心 小平面源：当小平面蒸发源为球形工件架的一部分时，该小平面蒸发源蒸发时，在内球体表面上的膜度分布是均匀的。 4何为电阻加热蒸发法。何为电子束蒸发法和优点P35 39 42~47 答：电阻加热蒸发法：采用钽、铜、钨等高熔点金属，做成适当形状的蒸发源，其上装入待蒸发材料料．让电流通过．对蒸发材料进行直接加热蒸发，或者把待蒸发材料放入A12O3，BeO等坩锅中进行间接加热蒸发 电子束蒸发法: 将蒸发材料放入水冷铜坩锅中，直接利用电子束加热，使蒸发材料气化蒸发后凝结在基板表面成膜 优点：（1）电子束轰击热源的束流密度高，能获得远比电阻加热源