多晶硅生产物料平衡技术附件.docxVIP

技术附件目录 附件1? 设计基础 附件2. 工艺描述 附件3. 工艺要求 附件4. 工作范围及交付进度 附件5. 设计范围及主体设备 附件6. 性能保证值 附件7. 公用工程条件 附件8. 性能考核 附件9? 技术服务 附件1 设计基础 1.1还原尾气的总量及组份(3000t/a ) 1.1.1按物料平衡计算: 序号 物质 T/a T/h Kmol/a Kmol/h Nm3/h V % 1 h2 12231.36 1.644 6115.7X103 822 18412 79.08% 2 SiHCh 158678.09 21.3277 1171.lxlO3 157.4 3539 15.20% 3 SiCU 41814.29 5.6202 246.0x103 33.06 740.5 3.18% 4 HC1 7015.3 0.9429 192.2x10s 25.83 578.67 2.48% 5 SiH2Cl2 462.77 0.0622 4.6x103 0.616 13.7 0.06% 合计 220201.81 29.597 7729.6x1()3 1038.906 23283.87 100.00% 1.1.2按物料平衡扩大20%计算: 序号 物质 T/a T/h Kmol/a Kmol/h Nm/h V % 1 h2 146 力.63 1.973 73