薄膜技术应用与应用.ppt

薄膜技术及应用 Thin Film Technology and Applications 于永强 电子科学与应用物理学院微纳功能材料与器件研究室 参 考 书 《薄膜材料制备原理、技术及应用》 唐伟忠，冶金工业出版社 《薄膜物理与技术》 杨邦朝，电子科技大学出版社 《薄膜物理与技术》 陈国平，东南大学出版社? High performance Nano-FETs Nano-Optoelectronic Devices Photodetectors Nano LEDs Sensors Solar cell 第一章 薄膜制备的真空技术基础 1.1 气体分子运动论的基本概念 1.1.1气体分子的运动速度及其分布 气体分子运动论： 气体分子一直处无规热运动； 平均运动速度取决于温度； 分子之间和分子与器壁之间相互碰撞。 结果：气体分子的速度服从一定统计分 布,气体本身对外显压力。 理想气体气体模型： 气体分子之间除相互碰撞的瞬间之外，不存在相互作用，可看作是相互独立运动硬球，且硬球的半径远小于球与球之间的距离。 在一般的温度和压力条件下，所有气体可看作理想气体。 Maxwell-Boltzmann分布 1.1.2 气体的压力和气体分子的平均自由程 气体分子的平均自由程 1.1.3 气体分子的通量 单位面积上气体分子的通量:气体分子对于单位 表面的碰撞频率。 气体分子的通量与压力呈正比，与温度和 相对原子质量乘积的1/2次方成反比。是真空 和薄膜沉积技术中最常用的方程之一。 例：计算在高真空的条件下，清洁衬底被环境中 的杂质气体分子污染所需时间。假设每一个向衬 底运动过来的气体分子都是杂质，且每一个分子 都被衬底所俘获。 衬底完全被一层杂质气体分子覆盖所需要的 时间为 真空环境划分 1.2 气体的流动状态和真空抽速 1.2.1 气体的流动状态 1.2 气体的流动状态和真空抽速 1.2.1 气体的流动状态 1.2.2 气体管路的流导 流导:真空管路中气体的通过能力。 流导C的定义为 1.2.3 真空泵的抽速 真空泵可以达到的极限真空度 （存在气体回流的情况） 1.3真空泵简介 真空环境的获得需要使用各种各样的真空泵，它们是 真空系统的主要组成部分。 按获得真空的方法分为两大类： 一、输运式真空泵 1、 机械式气体输运泵（旋转式机械真空泵、罗茨泵 以及涡轮分子泵）； 2、 气流式气体输运泵（油扩散泵）。 采用对气体进行压缩的方式将气体分子输送至真空系 统之外。 二、捕获式真空泵（低温吸附泵、溅射离子泵） 依靠在真空系统内凝集或吸附气体分子的方式将气体 分子捕获，排除于真空系统之外。 与输运式真空泵不同，某些捕获式真空泵在工作完毕 以后还可能将己捕获的气体分子释放回真空系统。 1.3真空泵简介 1.3.1旋片式机械真空泵 1.3.2 罗茨（Roots）真空泵 1.3.3 油扩散泵 1.3.4 涡轮分子泵 1.3.5 低温吸附泵 1.3.6 溅射离子泵 1.4 真空的测量 1.4.1 热偶真空规和皮拉尼（Pirani）真空规 1.4.2 电离真空规 1.4.3 薄膜真空规 工作原理：是依靠安置在偏心转子中的可以滑进滑出的旋片将气体隔离、压缩，然后排除泵体外的。 理论抽速： 抽速:1~300L/s 极限真空度：10-1 Pa 工作原理：泵内两个呈8字型的转子以相反的方向旋转。转子咬合精度很高,转子旋转扫过空间很大，转速很高下，抽速很大。 抽速: 103 L/s 极限真空度：10-2 Pa 工作原理：将油加热至高温蒸发状态(约200℃)，让油蒸气呈多级状向下定向高速喷出时不断接击被抽的气体分子，并将部分功量传给这些气体分子，使其被迫向排气口方向运动，在压缩作用下被排出泵体。同时，受到泵体冷却的油蒸气又会凝结起来返回泵的底部。 抽速: 几升-104 L/s 极限真空度： 1-10-6 Pa Diffusion Pumping System 工作原理：工作靠对气体分子施加作用力，并使气体分子向特定方向运动。转子叶片具有特定的形状，高速旋转（2000-3000r/min）的叶片将动量传给气体分子。多级叶片，上级叶片输送的气体分子受下级叶片的作用继续被压缩至更