电子光学基础.PPT

扫面电子显微镜（JSM-35CF) 环境扫描电子显微镜（QUANTA2000) 日本电子公司 飞利普公司 分辨率：6nm 分辨率：3.5nm 扫描电子显微镜 用途：微形貌观察 (微区成分分析) * JSM-6700F场发射扫描电镜 * 电子探针（JCXA-733) 日本电子公司 电子探针显微分析系统 （JXA-8100 ) 日本技术JEOL珠式会社 电子探针 用途：微区成分分析 * 透射电子显微镜 CM12/STEM 荷兰飞利浦公司 用途：用于微结构分析 * 一种金属喷雾粒子的SEM照片 * Cu纳米线该图为在铝阳极氧化膜的孔中生长的Cu纳米线照片。 * “飘摇”（碳纳米管）该图片是一种特定工艺条件下生长的碳纳米管形貌。碳纳米管具有强度高，韧性好的特点，可用于复合材料，还可用于特殊电子元件(如场发射灯丝和平板显示器发光材料)。 * “蔓”（羟基磷灰石）图为羟基磷灰石形貌。其形成过程为：首先在动物身上提取的胶原蛋白复合海绵体，该海绵体经模拟液浸泡后生长形成如图所示的羟基磷灰石。 * “巢”(铝阳极氧化膜)该图为铝阳极氧化膜显微结构。该膜具有防腐、耐磨和绝缘的特性，因此被广泛用于电子和工业领域。 * 凹凸棒石 绿泥石 蒙脱石 叶片状伊利石 发状海泡石 作业 1、简述电磁透镜的聚焦原理 2、简述电磁透镜的缺陷 3、电磁透镜与光学显微镜的区别 4、常用电子显微镜的类型及用途 * 0.0087 1000 0.0698 30 0.0142 500 0.0859 20 0.0251 200 0.122 10 0.0370 100 0.173 5 0.0418 80 0.194 4 0.0487 60 0.224 3 0.0536 50 0.274 2 0.0601 40 0.388 1 电子波波长/? 加速电压/KV 电子波波长/? 加速电压/KV 不同加速电压下电子波的波长（经相对论校正） * 可见光的波长在3900-7600?之间，在常用的100-200KV加速电压下，电子波的波长要比可见光小5个数量级 只要能使加速电压提高到一定值就可得到很短的电子波。 用高压加速电子就成为近代电镜的最重要特点，用这样的电子波作为照明源就可显著提高显微镜的分辨率。 那么能不能制造出使电子波聚焦成像的透镜？ * 3、电磁透镜 电子是带负电的粒子，在静电场中会受到电场力的作用，使运动方向发生偏转，设计静电场的大小和形状可实现电子的聚焦和发散。 由静电场制成的透镜称为静电透镜，在电子显微镜中，发射电子的电子枪就是利用静电透镜。 静电透镜 * 运动的电子在磁场中也会受磁场力的作用发生偏折，从而达到会聚和发散，由磁场制成的透镜称为磁透镜。 用通电线圈产生的磁场来使电子波聚焦成像的装置叫电磁透镜。 电磁透镜 * 由于静电透镜从性能上不如电磁透镜，所以在目前研制的电子显微镜中大都采用电磁透镜。 电磁透镜 静电透镜 1.改变线圈中的电流强度可很方便的控制焦距和放大倍率 1.需改变加速电压才可改变焦距和放大率 2.无击穿，供给电磁透镜线圈的电压低 2.静电透镜需数万伏电压，常会引起击穿 3.像差小 3.像差较大 Comparison * （1）电磁透镜的聚焦原理 电子在磁场中的运动： 电子 磁力线 * 运动电子在磁场中受到Lorentz力作用，其表达式： 式中：e-运动电子电荷； v-电子运动速度矢量； B-磁感应强度矢量； F-洛仑兹力 。 显然，F的方向垂直于矢量v和B所决定的平面，力的方向可由左手法则确定。 * （1）v∥B，则F=0，电子不受磁场力作用，其运动速度的大小及方向不变； （2）若v⊥B，即只改变运动方向，不改变运动速度，从而使电子在垂直于磁力线方向的平面上做匀速圆周运动。 （3）若v与B既不垂直也不平行，而成一定夹角，则其运动轨迹为螺旋线。 * 如何使运动的电子在磁场中会聚？ 轴对称的磁场 * 电磁透镜聚焦原理示意图1 a b * 电磁透镜聚焦原理示意图2 c * 玻璃凸透镜聚焦 电磁透镜聚焦原理示意图3 d * 与光学透镜相似，电磁透镜的物距、像距和焦距三者之间的关系式及放大倍数为： 1/f=1/L1+1/L2 M=L2/L1 M=f/(L1-f) f－焦距；L1－物距；L2－像距;M－放大倍数