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第 33 卷第 4 期 长春师 范大学学报 （自然科学版） 2014 年 8 月
Vol.33 No.4 Journal of Changchun Normal University(Natural Science) Aug.2014
几种常用光学方法测量薄膜厚度设计
， ，
苏宝玺 杨文琴 吴荣琴
( ， 362332)
福建师范大学闽南科技学院 福建泉州
［ ］ ， ，
摘 要 随着科技的进步和精密仪器的应用 薄膜厚度的测量方法层出不穷 准确测量薄膜的厚度
， 。
和光学常数在薄膜的制备和应用中起着关键的作用 直接关系到该薄膜材料能否正常工作 本文
， 。
通过对薄膜的光学测量方法进行归类 列举其中一些测量方法在教学中的应用
［ ］ ; ;
关键词 薄膜厚度 光学测量方法 实验教学
［ ］O431 ［ ］A ［ ］2095 － 7602 (2014)04 － 0029 － 04
中图分类号 文献标识码 文章编号
， 、 、 、 圆偏振法、
薄膜厚度的测量方法有很多 常见的光学方法有等厚等倾干涉法 极值法 原子吸收光谱法 椭
。 ， 、 、 、
白光干涉法等 笔者通过引用高校中常见的光学实验教学仪器 如牛顿环 迈克尔逊干涉仪 椭偏仪 光纤光
(AvaSpec) ， 。
谱仪 等 来归纳介绍几种测厚常见的光学方法
1 利用牛顿环干涉条纹测定薄膜厚度［1］
， ， 。
将两块光学平玻璃叠合在一起 并在其中一端垫入待测的薄片 则在两块玻璃片之间形成一空气劈尖
， ， 、 ，
当用单色光垂直照射时 和牛顿环一样 在空气劈尖上 下两表面反射的两束相干光发生干涉 其干涉条纹是
， ( ) ( 1)。
一簇间距相等 宽度相等切平行于两玻璃片交线 即劈尖的棱 的明暗相间的平行条纹 图
1 尖干涉
图 空气劈
λ
由于任意相邻的两条干涉条纹所对应的空气劈尖厚度差为 。由 ， n
此可推出 相隔 个条纹的两条干涉
2
λ
e = n ，
条纹所对应的空气劈
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