原创力文档Disco设备结构介绍;设备结构;设备的传动部分;设备的传动部分－－Ｘ轴;设备的传动部分－－Y轴;设备的传动部分－－Y轴感应器;设备的传动部分－－Z轴;设备的传动部分－－Θ轴;设备的传动部分－－Θ轴;设备的传动部分－－工作台;设备的传动部分－－ 上下取物手臂;设备的传动部分－－升降台;设备的传动部分－－晶圆校准部分;设备的结构－－清洗台
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